Potrubia SIC

Semicorex SIC rúrky sú keramické diely pre polovodičové pecové systémy.  Majú jedinečné vlastnosti, ktoré zahŕňajú vysoký tepelný prenos a vysoké teplotné a chemické odpory, ktoré sa vyžadujú v polovodičových aplikáciách, kde existujú extrémne vysokoteplotné a chemické podmienky, ktoré sa očakávajú a kde sú vlastnosti žiaduce - trvanlivosť, energetická účinnosť a jedinečné stabilné podmienky procesu, ktoré umožňujú ekonomické využitie v priebehu pokročilého výrobného prostredia.

Rúrky SemiCorex SIC používajú vysokokvalitný jemný zrnkokarbid kremíkaTo sa vyrába tak, aby mala výnimočnú vysokoteplotnú mechanickú stabilitu v dôsledku pokročilých metód a techník spekania a rekryštalizácie. Umožnenie vysoko výkonného SIC vedie k výnimočnej mechanickej pevnosti a zadržiavaniu tepelnej stability pri vysokých prevádzkových teplotách. SIC má výnimočnú tvrdosť, ktorá zmierňuje opotrebenie alebo potenciálnu deformáciu.  Okrem toho sú atribúty spojené s vlastnosťami SIC koeficientom tepelnej expanzie s nízkym palivom prospešné, pretože obmedzujú tepelné napätie, pretože budú existovať požiadavky na cyklovanie tohto materiálu medzi extrémnym vysokým a nízkym prevádzkovým teplom. Vo všetkých týchto úvahách majú špeciálnu užitočnosť pre ideálne aplikácie v difúznych peciach, oxidačných peciach a systémoch LPCVD/PECVD na udržanie maximálnych stabilných procesných podmienok sú prínosom na odstránenie alebo obmedzenie defektov, ktoré sú tiež metrík súvisiace s veľmi stabilnými, dokonca aj s vysokými stabilnými procesnými podmienkami.

Ďalšou dôležitou užitočnosťou potrubí SIC sú vysoké profily tepelného vedenia v špecifických podmienkach a príslušné návrhy pecí na výrobu vysokej miery vodivých a zásadne, rovnomerného a stabilného rozdelenia teploty počas celého procesu.  Toto spoľahlivé správanie umožňuje, aby boli doštičky vystavené polo rovným distribúciám teploty v primeraných časových intervaloch a navyše na obmedzenie tepelných gradientov na zmiernenie skreslených a/alebo defektných doštičiek s plochým dnom a zároveň zlepšili rovnomernejšie podmienky ukladania filmu.

Chemická stabilita a rezistencia sú ďalším dôležitým výkonnostným faktorom.  V polovodičových procesoch sa trubica pece vystavuje vplyvu vysoko reaktívnych plynov vrátane kyslíka, vodíka, amoniaku a všetkých halogénov, ktoré môžu rýchlo degradovať konvenčné materiály. Hustá a zložitá mikroštruktúra, spolu s chemicky inertnou povahou SIC, ju chráni pred oxidáciou a koróziou a zároveň poskytuje prevádzkový a mechanický výkon v prostredí extrémneho procesu.  Trvanlivosť pece SIC im pomáha udržiavať integritu formy a rozmerovej presnosti po dlhú dobu, čo je dôležité pre kontrolu procesu a stabilitu.

Potrubia SIC sa môžu vyrábať v širokej škále veľkostí a hrúbok steny, geometricky tvarované tak, aby vyhovovali návrhom pecí a potrebami procesu.  Počas navrhovania a výroby potrubí SIC sa tiež udržiavajú charakteristiky presného obrábania, takže prevádzkové tolerancie môžu byť tesné, s hladkými vnútornými povrchmi a vynikajúcou sústrednosťou na udržanie rovnováhy prietoku laminárneho plynu a rovnomerných tepelných profilov. Vyleštenie povrchu a povlaky môžu byť poskytnuté ako možnosti úpravy, ktoré zvýšia výkon znížením tvorby častíc a zlepšením odolnosti proti korózii.

Potrubia SIC majú jasné prevádzkové a nákladové výhody v porovnaní s alternatívnymi materiálmi, ako sú kremenné alebo hliníkové potrubia.  Počiatočné náklady na komponenty SIC môžu byť o niečo vyššie, ale životnosť produktu, zníženie rozbitia a nižšie požiadavky na údržbu vedú k celkovým nákladom na vlastníctvo, čo je nižšie náklady ako alternatívne materiály a potrubia.

Na záver, SemicorexSicPotrubia sú najlepšou voľbou pre aplikácie polovodičových pecí, pretože poskytujú najlepší tepelný výkon, mechanickú pevnosť, chemický odpor a spoľahlivosť pre náročné výrobné prostredie. Tento materiál zlepšuje stabilitu procesu a pomáha pri úsporách a účinnosti nákladov na cesty (t. J. Nižšia spotreba energie). Potrubia SIC sú základným materiálom pre modernú výrobu polovodičov.