Procesná trubica SiC

Procesná trubica Semicorex SiC (karbid kremíka) je špecializovaný komponent používaný v procesoch tepelného spracovania plátkov, najmä v aplikáciách, ktoré vyžadujú vysoké teploty, korozívnu atmosféru alebo oboje. Je navrhnutý tak, aby poskytoval ochranné a kontrolované prostredie pre polovodičové doštičky počas tepelného spracovania alebo tepelného spracovania.

Procesná trubica je starostlivo skonštruovaná tak, aby vytvorila utesnenú komoru, do ktorej sa umiestňujú plátky na tepelné spracovanie. Pôsobí ako bariéra, ktorá zabraňuje priamemu kontaktu plátkov s okolitým prostredím. Táto izolácia je rozhodujúca pre udržanie čistoty spracovateľskej atmosféry a ochranu plátkov pred kontamináciou.

Vo vnútri procesnej trubice SiC prebieha tepelné spracovanie plátku. To môže zahŕňať rôzne procesy, ako je žíhanie, oxidácia, difúzia a iné tepelné úpravy potrebné na úpravu vlastností doštičkového materiálu. Vlastnosti trubice, ako je jej vysoká tepelná vodivosť a odolnosť voči chemickému napadnutiu, pomáhajú zabezpečiť rovnomerné rozloženie teploty a ochranu plátkov.

Procesné rúrky SiC sú kritickými komponentmi v procesoch tepelného spracovania plátkov. Ich odolnosť voči vysokej teplote, chemická inertnosť a schopnosť vytvárať kontrolované prostredie zaisťujú úspešné vykonanie krokov tepelného spracovania, čo vedie k výrobe vysokokvalitných polovodičových doštičiek.