SIC vákuové skľučovky

StrednexKarbid kremíkaSIC vákuové skľučovky sú špičkové keramické nástroje navrhnuté tak, aby bezpečne a spoľahlivo držali polovodičové doštičky počas procesov odstraňovania presnosti materiálu. Sú skonštruované na použitie v ultra čistej, vysokej teplote a chemicky drsného prostredia. SIC vákuové skľučovky pomáhajú dodávať adsorpciu a zarovnanie vynikajúcej doštičky. Semicorex SIC vákuové skľučovky sa vyrábajú z keramiky karbidu kremíka s vysokou čistotou, aby sa zabezpečila vynikajúca mechanická pevnosť, tepelná vodivosť a chemická trvanlivosť.

Hlavnou úlohou vákua skľučovku je ťahať rovnomerné sanie cez povrch oblátky tak, aby bola oblátka držaná stabilnou počas procesov, ako je inšpekcia, depozícia, lept a litografia. Typické vákuové skľučenia majú problémy s tvorbou častíc, deformáciou alebo chemickým zhoršením v priebehu času. V prípade extrémnych podmienok výroby polovodičov poskytnú SIC vákuové skľučovky vynikajúcu dlhodobú trvanlivosť a stabilitu.

Materiály karbidu kremíka sú vysoko cenené pre svoju tvrdosť, tepelnú stabilitu a koeficient nízkej tepelnej expanzie. Tieto materiály zostanú rozmerne stabilné v širokom rozsahu teploty, čo umožní tepelnú stabilitu a zlepšenú presnosť procesu bez tepelného nesúladu s oblátkou. Ich vysoká tepelná vodivosť tiež umožňuje rýchly rozptyl tepla, ktorý je užitočný pri rýchlych tepelných počiatočných podmienkach zvýšenia alebo pre krátke vystavenie vysokoenergetickým plazmám.

SIC keramika má nielen tepelné a mechanické prínosy, ale je tiež odolná voči korózii plazmy a agresívnym procesným plynom. Vďaka tejto funkcii sú SIC vákuové skľučenia obzvlášť priaznivé pre suché leptanie, CVD a PVD procesy, kde sa môžu materiály kremeňa alebo hliníka nitridu degradovať pomocou použitia. Chemická inerta SIC pomôže pri obmedzovaní kontaminácie a zlepšenia prevádzky nástroja.

S cieľom poskytnúť vynikajúci výkon. Semicorex robí SIC vákuové skľučovanie a špecifikuje extrémne tesné tolerancie pomocou ultra-flatových povrchov s štruktúrami kanálov v aktualizácii Micron's. S týmito vlastnosťami poskytuje podpora oblátok presným odsávaním a nepretržitým nasávaním na podporu oblátok, ktorá klesá šance na osnovu alebo rozbitie samotných doštičiek. K dispozícii sú vlastné dizajnérske služby, ktoré vyhovujú rôznym veľkostiam oblátkov (2 „až 12“) v rôznych aplikáciách.

Pretože vyšší výnos, kontrola procesu a spoľahlivosť sú faktory, SIC vákuové skľučovky sú novými základnými komponentmi polovodičového zariadenia novej generácie. Aplikácie vákuových sklíčok SIC sú priamo viazané na zvýšenie, spoľahlivosť zariadenia a riadenie spracovania.