SiC vertikálne člny

Semicorex SiC Vertical Boats sú konštruované nosiče plátkov, navrhnuté a vyrobené tak, aby poskytovali najvyššiu tepelnú, mechanickú a chemickú stabilitu pri spracovaní polovodičov vo vertikálnej peci. Vyrobené z vysokej čistotykarbid kremíkaVeríme, že predstavujú najlepšiu rovnováhu medzi pevnosťou, odolnosťou a čistotou pre veľmi pokročilé tepelné spracovanie plátkov, ktoré sa označuje ako oxidácia, difúzia, LPCVD a žíhanie vo vertikálnych peciach.

Prostredie spracovania vo vertikálnej peci vyžaduje podporný systém plátkov, ktorý vydrží opakované vystavenie vysokej teplote, často presahujúcej 1200 °C, a zostane rozmerovo stabilný bez problémov s kontamináciou. SiC Vertical Boats vynikajú svojou robustnosťou v týchto situáciách kvôli vlastným mechanickým a tepelným vlastnostiam rekryštalizovaného alebo CVD karbidu kremíka. Ich extrémne nízky koeficient tepelnej rozťažnosti zaisťuje minimálne deformácie alebo deformácie v dôsledku rýchleho tepelného cyklu. Okrem toho vysoká tepelná vodivosť ponúka najväčšiu lokálnu teplotnú homogenitu naprieč všetkými plátkami, čo je rozhodujúce pre konzistenciu plátku k plátku v hrúbke vrstvy, profiloch dotovania a elektrickom výkone; dôležité aspekty veľkoobjemovej výroby v polovodičovom priemysle.

V porovnaní s tradičnými quartz člnmi poskytujú SiC Vertical Boats vynikajúcu mechanickú pevnosť a predĺženú životnosť. Kremeň má tendenciu časom krehnúť a devitrifikovať, najmä v agresívnych peciach, čo vedie k vyšším nákladom na výmenu a potenciálnemu prerušeniu výroby. Na rozdiel od toho si karbid kremíka zachováva svoju integritu aj po dlhšom vystavení korozívnym plynom, ako je chlór, HCl alebo amoniak, ktoré sú bežné pri rôznych difúznych a LPCVD procesoch. Jeho výnimočná odolnosť proti opotrebovaniu a oxidácii výrazne znižuje tvorbu častíc, čím pomáha chrániť povrchy plátkov pred kontamináciou a tvorbou defektov.

SiC Vertical Boats tiež ponúkajú významný benefit z hľadiska ultra čistého spracovania. Vysoko čistý SiC materiál sa spracováva s prísnou starostlivosťou, aby sa znížili identifikovateľné stopy kontaminujúcich kovov, ktoré môžu interferovať s prevádzkovými charakteristikami polovodičových zariadení. Povrchy SiC Vertical Boat sú dobre upravené s pravouhlými prvkami, ktoré minimalizujú možnosť vypadávania mikročastíc. SiC povrchy sú chemicky inertné a nereagujú s procesnými plynmi, a preto sú menej náchylné na kontamináciu. V tomto ohľade sú SiC Vertical Boats vhodné pre operácie spracovania plátkov na prednej strane linky (FEOL) a na zadnej strane linky (BEOL).

SiC Vertical Boats tiež ponúkajú flexibilitu dizajnu. Každá vertikálna loď môže byť dizajnovo špecifická, aby sa prispôsobila viacerým priemerom plátkov (150 mm, 200 mm alebo 300 mm plátku) a počet štrbín a rozstup je možné využiť na splnenie procesných požiadaviek. Presné opracovanie a kontrola rozmerov umožňujú správne zarovnanie plátku a podporu plátku, čím sa minimalizuje pravdepodobnosť akýchkoľvek mikroškrabancov alebo trhlín spôsobených napätím počas nakladania, spracovania a vykladania. Taktiež, ak je pre konkrétny proces potrebná lepšia rovnomernosť teploty a/alebo menšia tepelná hmotnosť, môžu byť do konfigurácií SiC vertikálnych člnov začlenené optimalizované geometrie a návrhy štrbín bez toho, aby sa obetovali akékoľvek mechanické vlastnosti.

Ďalšou výhodou je údržba a prevádzková efektivita. Pevná konštrukcia zSiCVertical Boats znižuje čas a frekvenciu výmeny, čím minimalizuje prestoje alebo náklady na vlastníctvo. Odolnosť SiC proti tepelným šokom umožňuje kratšie cykly zahrievania a chladenia, aby sa dosiahol vyšší výkon na výrobných linkách. Údržba alebo čistenie SiC Vertical Boats je tiež veľmi jednoduché; materiál vydrží väčšinu konvenčných procesov mokrého alebo suchého čistenia bežných v polovodičových továrňach, ako je chemické čistenie kyselinami a vypaľovanie pri vysokej teplote.

V tomto modernom veku sofistikovanej výroby polovodičov, kde má zlepšenie výťažku, kontrola kontaminácie a stabilita v procese veľký význam, SiC Vertical Boats ponúkajú skutočnú technologickú výhodu. Dobre sa vyrovnávajú s fyzikálnymi a chemickými výzvami aplikácií vertikálnych pecí a prispievajú k celkovej optimalizácii procesu poskytovaním integrity plátku, konzistentných výsledkov a dlhšej životnosti zariadenia.