Sic vertikálne lode

Vertikálne lode SemiCorex sú navrhnuté a vyrobené tak, aby poskytovali najvyššiu tepelnú, mechanickú a chemickú stabilitu pre polovodičové spracovanie polovodičov. Skonštruovaný z vysokej bezpečnostikarbid kremíka, sme presvedčení, že sú najlepšou rovnováhou sily, trvanlivosti a čistoty pre veľmi pokročilé tepelné spracovanie oblátkov, ktoré je známe ako oxidácia, difúzia, LPCVD a žíhanie vo vertikálnych systémoch pecí.

Vertikálne prostredie na spracovanie pecí vyžadujú podporný systém oblátok, ktorý vydrží opakované expozície pri vysokej teplote, často presahujúc 1 200 ° C a zostane dimenom-šikanovo stabilný bez problémov s kontamináciou. Vertikálne lode SIC vynikajú v ich robustnosti v týchto situáciách kvôli vnútorným mechanickým a tepelným vlastnostiam rekryštalizovaného karbidu kremíka alebo CVD. Ich extrémne nízky koeficient tepelnej expanzie zaisťuje minimálnu deformáciu alebo skreslenie v dôsledku rýchleho tepelného cyklu. Okrem toho vysoká tepelná vodivosť ponúka najväčšiu miestnu teplotnú homogenitu vo všetkých doštičkách, čo je rozhodujúce pre konzistenciu doštičiek v hrúbke vrstvy, profilov dopingu a elektrického výkonu; Dôležité aspekty výroby s vysokým objemom v polovodičovom priemysle.

V porovnaní s tradičnými kremeňovými člnmi poskytujú SIC vertikálne lode vynikajúcu mechanickú pevnosť a predĺženú životnosť. Quartz má tendenciu sa stať krehkým a časom devitrifikovať, najmä v agresívnych chemikách pece, čo vedie k vyšším nákladom na výmenu a potenciálnym prerušeniam výroby. Naopak, karbid kremíka si zachováva svoju integritu aj po dlhodobom vystavení korozívnym plynom, ako je chlór, HCl alebo amoniak, ktoré sú bežné v rôznych procesoch difúzie a LPCVD. Jeho výnimočné opotrebenie a oxidačná odolnosť výrazne znižuje tvorbu častíc, čo pomáha chrániť povrchy oblátok pred kontamináciou a tvorbou defektov.

Vertikálne lode SIC tiež ponúkajú významný prínos z hľadiska ultra čistiaceho spracovania. Materiál SIC s vysokou čistotou sa spracováva v prísnej starostlivosti, aby sa znížilo identifikovateľné stopové kontaminujúce kovy, ktoré môžu interferovať prevádzkové charakteristiky polovodičových zariadení. Vertikálne povrchy SIC sú dobre dokončené s pravými znakmi, ktoré minimalizujú pravdepodobnosť odhodenia mikro-častíc. Povrchy SIC sú chemicky inertné a nereagujú s procesnými plynmi, a preto sú menej náchylné na kontamináciu. V tomto ohľade sú SIC vertikálne lode vhodné pre predný koniec riadku (FEOL) a zadný koniec riadkových (Beol) spracovateľských operácií doštičiek.

Vertikálne lode SIC tiež ponúkajú flexibilitu dizajnu. Každá vertikálna loď môže byť špecifická pre dizajn, aby sa prispôsobilo viacnásobným priemerom oblátky (150 mm, 200 mm alebo 300 mm doštičky) a na splnenie požiadaviek na proces je možné využiť číslo a rozstupy. Presné obrábanie a rozmerové riadenie umožňujú správne zarovnanie oblátok a podporu oblátky minimalizácia pravdepodobnosti akýchkoľvek mikroplákov alebo prasklín napätia počas zaťaženia, spracovania a vykladania. Ak je tiež potrebná uniformita a / alebo menšia tepelná hmotnosť s vyššou teplotou a / alebo menej tepelnej hmoty, optimalizované geometrie a dizajn slotov môžu byť začlenené do konfigurácií vertikálnych lodí SIC bez obetovania akýchkoľvek mechanických vlastností.

Ďalšou výhodou je údržba a prevádzková efektívnosť. Pevná konštrukciaSicVertikálne lode znižujú čas a frekvenciu výmeny, čím sa minimalizuje prestoje alebo náklady na vlastníctvo. Odolnosť tepelného šoku SIC umožňuje kratšie cykly zahrievania a chladenia, aby sa dosiahla vyššia priepustnosť na výrobných vedeniach. Údržba alebo čistenie vertikálnych lodí SIC je tiež veľmi jednoduché; Materiál môže vydržať najbežnejšie mokré alebo suché čistiace procesy bežné v polovodičových Fabs, ako je chemické čistenie s kyselinami a vysokoteplotné pečenie.

V tomto modernom veku sofistikovanej výroby polovodičov, kde majú zlepšenie výnosu, kontrola kontaminácie a stabilita v procese, majú všetky významy, SIC vertikálne lode ponúkajú skutočnú technologickú výhodu. Dobre sa zaoberajú fyzikálnymi a chemickými výzvami aplikácií vertikálnych pecí a prispievajú k celkovej optimalizácii procesu poskytovaním integrity doštičiek, konzistentných výsledkov a dlhšej životnosti zariadení.