Jednokryštálová silikónová sprchová hlavica

Semicorex monokryštálový kremíksprchová hlavicavykazuje výnimočnú odolnosť proti korózii, nízky koeficient rozťažnosti a vynikajúcu tepelnú vodivosť. Odolne sa prispôsobuje drsným podmienkam vysokej teploty, vysokej korozívnosti a vysokého vákua pri výrobe polovodičov a vykazuje výnimočnú toleranciu voči procesným plynom, ako sú plyny z leptania a depozície. Preto sa sprchová hlavica z monokryštálu kremíka široko používa v procesoch čistenia polovodičov, oxidačných procesoch, procesoch nanášania a leptaní.

Semicorex využíva pokročilé techniky povrchovej úpravy, aby zabezpečil, že povrch jednokryštálovej kremíkovej sprchovej hlavice sa vyznačuje extrémne vysokou rovinnosťou a hladkosťou. Medzitým, spoliehajúc sa na štandardizovaný dizajn kanálovej štruktúry a cesty plynu, je povrch jednokryštálovej kremíkovej sprchovej hlavice rovnomerne rozdelený s mnohými pórmi rovnakého priemeru (minimálny priemer môže dosiahnuť 0,2 milimetra). Tolerancia priemeru pórov jednokryštálovej kremíkovej sprchovej hlavice je presne kontrolovaná na úrovni mikrometrov a vnútorná stena pórov musí byť hladká a bez otrepov, čo zaisťuje presnosť distribúcie a rovnomernosť procesného plynu zo štrukturálnych a procesných aspektov.

Semicorex poskytuje odborné služby prispôsobenia na splnenie rôznych potrieb klientov. Podľa rôznych potrieb svojich klientov dokáže prispôsobiť vzhľadové riešenia tak, aby zodpovedali rozmerom a tvaru ich reakčných komôr. Optimalizovaný dizajn umožňuje doštičkám dosiahnuť úplný a konzistentný kontakt s procesným plynom počas celého reakčného procesu tým, že zaručuje, že plyn je rovnomerne rozptýlený v reakčnej komore. To v konečnom dôsledku zvyšuje efektivitu výroby a kvalitu produktu.