Kremíkové karbidové člny

Semicorex kremíkové karbidové člny vykazujú výnimočnú tepelnú stabilitu, čo im umožňuje vydržať extrémne teploty potrebné na oxidačné a difúzne procesy. Ich vynikajúca odolnosť voči tepelným otrasom minimalizuje riziko praskania alebo deformácie, čím sa zabezpečuje dlhodobá prevádzková životnosť. Zloženie SIC s vysokou hustotou poskytuje vynikajúcu mechanickú pevnosť, udržiavajúcu štrukturálnu integritu aj pri nepretržitej tepelnej cyklistike. Táto výnimočná odolnosť voči mechanickému napätiu znižuje pravdepodobnosť kontaminácie a rozbitia doštičiek, čo prispieva k vyšším výnosom procesu. Okrem toho majú lode SIC vynikajúcu chemickú odolnosť a zostávajú inertné na agresívne procesné plyny používané v oxidačných a difúznych krokoch. Táto charakteristika bráni nechceným reakciám, ktoré by mohli ohroziť čistotu a účinnosť výroby oblátky.

Silikónové karbidové lode sa primárne používajú v oxidačných a difúznych peciach, kde je nevyhnutná presná kontrola vystavenia doštičiek vysokým teplotám a reaktívnymi plynmi. Podporujú doštičky počas tepelnej oxidácie, aby pestovali vysoko kvalitné vrstvy oxidu kremíka a uľahčovali rovnomerné doping prostredníctvom kontrolovanej expozície dopantným plynom. Ďalej poskytujú stabilnú platformu pre žíhanie a ďalšie ošetrenia s vysokou teplotou, ktoré si vyžadujú predĺžené vystavenie tepla.

V porovnaní s tradičnými kremeňovými a grafitovými člnmi ponúkajú kremíkové karbidové lode neprekonateľnú trvanlivosť, dlhovekosť a výkon. Ich schopnosť odolať tvrdým tepelným a chemickým prostredím a zároveň minimalizovať kontamináciu z nich robí preferovanú voľbu pre vysokú presnú výrobu polovodičov. So zameraním na kvalitu a inovácie naše kremíkové karbidové člny dodávajú vynikajúci výkon, zabezpečujú vysoké výnosy a efektívne spracovanie doštičiek pre výrobcov polovodičov na celom svete. Či už ide o pokročilé technológie uzlov alebo pre výrobu polovodičov, tieto lode poskytujú spoľahlivé riešenie na splnenie prísnych priemyselných požiadaviek.

(1) Prenášanie a ochrana: Kremíkové karbidové člny prepravujú polovodičové materiály, ako sú doštičky, prostredníctvom vnútorných držiakov alebo štrbín, a používa vysokú teplotu a koróziu materiálov kremíkových karbidov na ochranu doštičiek pred vonkajším prostredím.

(2) Rovnomerné zahrievanie: Loď z karbidu kremíka umožňuje rovnomerné zahrievanie doštičiek vo vnútri počas procesu tepelného spracovania. To pomáha zabezpečiť, aby teplota a rýchlosť reakcie každej časti oblátky zostali počas procesu tepelného spracovania konzistentné, čím sa zlepšila výťažok a kvalita oblátky.

V súčasnosti existujú tri hlavné typykeramika z kremíkaMateriály: reakčné spekanie, beztlakové spekanie a rekryštalizácia. Vo väčšine aplikácií je reakčný spekaný karbid kremíka vhodný a nákladovo efektívnejší produkt. Rekryštalizované SIC lode zvyčajne spekajú a najskôr spracúvajú niekoľko jednotkových častí, potom pomocou Paste SI kombinujte časti do lode pri vysokej teplote a nakoniec aplikujte povlak CVD-SIC (asi 100UM). Pretože rekryštalizácia je pórovitá, ak nedôjde k povlaku SIC, do polovodičového procesu tiež zavedie čiastočne. Tento typ rekryštalizovanej lode SIC s povlakom CVD-SIC má najdlhší výrobný proces a je veľmi drahý. V porovnaní s grafitovými loďami potiahnutými SIC nemajú rekryštalizované SIC lode SIC potiahnuté CVD-SIC.