Kazetové člny z karbidu kremíka

Semicorexkazetové člny z karbidu kremíkasú nepostrádateľné nosné komponenty, vďaka svojej stabilnej a vysokopevnostnej štruktúre bezpečne a presne bezpečne držia, prenášajú a manipulujú s viacerými polovodičovými doštičkami. Široko sa používajú v rôznych vysokoteplotných polovodičových procesoch, aby sa zabezpečila optimalizovaná distribúcia toku tepla a plynu pre konzistentné výsledky spracovania.

Starostlivo vybraná surovina

Kazetové člny Semicorex z karbidu kremíka, ktoré sú precízne vyrobené z prášku karbidu kremíka polovodičovej kvality prostredníctvom vysokoteplotného spekania, majú nasledujúce vynikajúce vlastnosti.

1. Ultra vysoká čistota:Obsah nečistôt v substráte je riadený tak, aby bol pod 100 ppm a úroveň nečistôtCVD karbid kremíkapovlak môže dosiahnuť menej ako 1 PPM.

2. Spoľahlivá odolnosť proti korózii:Keramika z karbidu kremíka poskytuje silnú odolnosť proti korózii a je odolná voči korózii väčšiny kyselín (ako je kyselina chlorovodíková, kyselina sírová a kyselina fluorovodíková), zásadám (ako je hydroxid sodný), rozpúšťadlám a oxidačným médiám.

3. Výnimočná kapacita tepelného manažmentu:Vďaka výnimočnej tepelnej odolnosti a nízkemu koeficientu tepelnej rozťažnosti si kazetové člny z karbidu kremíka dokážu zachovať svoje chemické vlastnosti a mechanickú pevnosť, aj keď sú vystavené dlhodobým prevádzkovým podmienkam pri vysokej teplote okolo 1250 °C.

Presne navrhnutá štruktúra

1. Horizontálna rámová konštrukcia:Horizontálna rámová štruktúra Semicorex karbidových kazetových člnov umožňuje, aby dokonale pasovali do horizontálnych rúr vysokoteplotných pecí.

2. Rovnomerne rozmiestnené drážky:Vďaka početným rovnomerne rozmiestneným zárezom môžu kazetové člny Semicorex z karbidu kremíka pevne držať plátok na mieste, čo môže výrazne zabrániť nežiaducim škrabancom, odieraniu a poškodeniu spôsobenému premiestnením plátku, čím sa účinne zabezpečí stabilita polovodičového procesu a výťažok plátku.

3. Viacslotový dizajn:Viacnásobné sloty navrhnuté na prenášanie viacerých plátkov umožňujú kazetovým člnom z karbidu kremíka Semicorex zlepšiť ich jednodávkové spracovanie a celkovú efektivitu výroby.

4. Otvorená architektúra:Kazetové člny Semicorex z karbidu kremíka sú vybavené premyslenou otvorenou architektúrou, ktorá môže pomôcť dosiahnuť rovnomernú distribúciu plynu a dostatočný reakčný kontakt, čím sa efektívne minimalizujú nekonzistentné výsledky procesu.