Keramické lopatky z karbidu kremíka Semicorex sú keramické komponenty s konzolovou štruktúrou, ktoré sú presne vyrobené z materiálu karbidu kremíka s následným reakčným spekaním. Keramické lopatky Semicorex z karbidu kremíka slúžia ako optimálne riešenie na podporu a prepravu plátkov a sú široko používané vo fotovoltaickom a polovodičovom priemysle.
Keramika z karbidu kremíkalopatky sú typicky inštalované v blízkosti otvoru pece alebo procesnej komory, pričom jeden koniec je pripevnený a druhý koniec zasahuje do pece alebo procesnej komory. Počas pracovného spracovania keramické lopatky z karbidu kremíka presne umiestňujú nosič plátkov nesúci plátky na určené miesto vo vnútri pece alebo procesnej komory. Konzolové lopatky po spracovaní vyberú nosič a presunú ho von z pece alebo komory a odovzdajú robotickému ramenu na ďalšiu fázu manipulácie.
1. Vynikajúce vlastnosti a spoľahlivá kvalita
Keramické lopatky Semicorex z karbidu kremíka poskytujú vynikajúcu stabilitu pri vysokých teplotách, vysokú pevnosť, vysokú tvrdosť, chemickú stabilitu a nízky koeficient tepelnej rozťažnosti. S týmito vynikajúcimi vlastnosťami môžu keramické lopatky Semicorex z karbidu kremíka dlhodobo odolávať náročným prevádzkovým podmienkam, ako sú vysoké teploty, silná korózia, veľké zaťaženie a časté mechanické operácie.
2. Presná podpora a preprava
Semicorex, ktorý sa spolieha na vynikajúci podporný a transportný výkonkeramické lopatky z karbidu kremíkamôže presne upevniť nosiče plátkov na mieste, aby sa zabezpečila sústrednosť plátkov vzhľadom na rúry pece, čo výrazne znižuje nekonzistentnosť procesu spôsobenú trasením plátku a nesprávnym usporiadaním počas procesu.
3. Vysoko efektívna automatizovaná prevádzka
Semicorex keramické lopatky z karbidu kremíka zvyčajne pracujú v spojení s robotickými automatizovanými systémami nakladania a manipulácie, aby sa dosiahlo rýchle nakladanie a vykladanie plátkov. To výrazne skracuje procesné cykly pri výrobe polovodičov a fotovoltaiky, zlepšuje efektivitu výroby a znižuje náklady na manuálnu obsluhu a riziko chýb.
1. Výroba fotovoltaických článkov
Keramické lopatky Semicorex z karbidu kremíka sú vhodné pre tepelné procesy fotovoltaických článkov, ako je difúzia, LPCVD a PECVD článkov TOPCon a PERC. Dosiahnutím jednotnosti a stability procesu tieto lopatky prispievajú k zlepšeniu účinnosti premeny fotovoltaických článkov.
2. Výroba polovodičových čipov
Keramické lopatky Semicorex z karbidu kremíka, ktoré sú základnými nosnými a transportnými komponentmi, sa široko používajú v procesoch, ako je litografia, leptanie a nanášanie počas výroby polovodičových čipov, čo umožňuje neustále stabilný prenos a presné polohovanie doštičiek.