Keramický čln z karbidu kremíka

Semicorex poskytuje doštičkové člny, podstavce a vlastné nosiče doštičiek pre vertikálne/stĺpové aj horizontálne konfigurácie. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom povlakového filmu z karbidu kremíka. Naša keramická loď z karbidu kremíka má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex keramický plátkový čln z karbidu kremíka, dokonalé riešenie pre manipuláciu a ochranu plátkov pri výrobe polovodičov.
Náš keramický čln z karbidu kremíka je vyrobený z vysoko kvalitného materiálu potiahnutého vrstvou karbidu kremíka (SiC) použitou metódou CVD, ktoré majú dobrú odolnosť proti korózii a vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a teplotným šokom. Pokročilá keramika poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvanlivosť plazmy a zároveň zmierňuje častice a kontaminanty pre vysokokapacitné nosiče plátkov.

Parametre keramického plátku z karbidu kremíka

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Názov materiálu		Reakčný spekaný karbid kremíka	Beztlakový spekaný karbid kremíka	Rekryštalizovaný karbid kremíka
Zloženie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnosť v ohybe	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnosť v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdosť	Tlačidlo	2700	2800	/
Prelomenie húževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivosť	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelnej rozťažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Špecifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximálna teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Modul pružnosti	Gpa	360	410	240

Rozdiel medzi SSiC a RBSiC:

1. Proces spekania je odlišný. RBSiC má infiltrovať voľný Si do karbidu kremíka pri nízkej teplote, SSiC vzniká prirodzeným zmršťovaním pri 2100 stupňoch.

2. SSiC majú hladší povrch, vyššiu hustotu a vyššiu pevnosť, pre niektoré tesnenia s prísnejšími požiadavkami na povrch budú SSiC lepšie.

3. Rôzny použitý čas pri rôznom PH a teplote, SSiC je dlhší ako RBSiC

Vlastnosti keramického člna z karbidu kremíka

Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
Jemný kryštál SiC potiahnutý pre hladký povrch
Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
Materiál je navrhnutý tak, aby nedochádzalo k prasklinám a delaminácii.