Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Semicorex hliníkové nitridové izolačné krúžky sú nepostrádateľnými komponentmi v pokročilej výrobe polovodičov, najmä v procesoch vysokofrekvenčného tepelného spracovania. Ich jedinečná kombinácia vysokoteplotnej stability, vynikajúcich tesniacich vlastností, výnimočnej tepelnej vodivosti a vlastnej odolnosti ich robí nevyhnutnými na zabezpečenie presného riadenia procesu, vysokých výnosov zariadení a predĺženej životnosti zariadení v náročnom prostredí výroby polovodičov. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných hliníkových nitridových izolačných krúžkov, ktoré spájajú kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytElektrostatické skľučovadlá Semicorex Aluminium Nitride ponúkajú presvedčivú kombináciu vlastností, vďaka ktorým sú ideálne vhodné pre náročné požiadavky spracovania polovodičových doštičiek. Ich schopnosť zaistiť bezpečné a rovnomerné upnutie plátku, vynikajúce tepelné riadenie a odolnosť voči náročným prostrediam spracovania sa premieta do zlepšeného výkonu zariadenia, vyšších výnosov a znížených výrobných nákladov. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných elektrostatických skľučovadiel z nitridu hliníka, ktoré spájajú kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytInšpekčné skľučovadlá Semicorex SiC Wafer sú kritickým nástrojom pre pokročilú výrobu polovodičov, ktorý rieši rastúce požiadavky na presnosť, čistotu a výkon. Ich vynikajúce materiálové vlastnosti sa premietajú do hmatateľných výhod počas celého procesu výroby plátkov, čo v konečnom dôsledku prispieva k vyšším výťažkom, zlepšenému výkonu zariadenia a nižším celkovým výrobným nákladom. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných inšpekčných skľučovadiel SiC doštičiek, ktoré spájajú kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Alumina Ceramic Robotic Arm, tiež známe ako keramické robotické rameno na manipuláciu s plátkami alebo vidlica na manipuláciu s keramickým kremíkovým plátkom, je vysokovýkonná súčasť polovodičového zariadenia. Jeho konštrukcia zohľadňuje prísne požiadavky výroby polovodičov. Vďaka svojej odolnosti voči vysokej teplote, odolnosti voči opotrebovaniu, chemickej stabilite a vynikajúcim elektrickým izolačným vlastnostiam hrá keramické rameno z oxidu hlinitého nenahraditeľnú úlohu v globálnom priemysle výroby polovodičov. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávke vysokovýkonného keramického robotického ramena z hliníka, ktoré spája kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytPokročilé materiálové vlastnosti Semicorex SiC difúznej pecnej rúrky, vrátane vysokej pevnosti v ohybe, vynikajúcej odolnosti voči oxidácii a korózii, vysokej odolnosti proti opotrebovaniu, nízkeho koeficientu trenia, vynikajúcich mechanických vlastností pri vysokých teplotách a ultra vysokej čistoty, ju robia nepostrádateľnou v polovodičovom priemysle. najmä pre aplikácie v difúznych peciach. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávke vysokovýkonných SiC difúznych pecí, ktoré spájajú kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytVďaka vysokokvalitným materiálovým vlastnostiam predstavuje Semicorex SiC Diffusion Boat optimálnu funkčnosť v širokom spektre prevádzkových parametrov: tvrdosť, pružnosť a tepelná a chemická odolnosť atď. Tento výber materiálu je rozhodujúci pri znižovaní rizík kontaminácie, ochrane plátkov a odolnosti náročných podmienkach prítomných v procesoch výroby polovodičov. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných SiC difúznych člnov, ktoré spájajú kvalitu s nákladovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopyt