Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Substrát AIN od spoločnosti Semicorex vyniká vynikajúcim tepelným manažmentom a elektrickou izoláciou a poskytuje robustné riešenie vyrobené z vysoko čistej keramiky AlN. Tento biely keramický materiál je chválený pre svoje komplexné vlastnosti.**
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex hrdo predstavuje substrát Al2O3, všestranný a vysoko výkonný materiál vyrobený z vysoko čistého oxidu hlinitého (oxid hlinitý). Tento pokročilý keramický substrát je chválený pre svoje výnimočné vlastnosti, vďaka čomu je základným kameňom v rôznych high-tech odvetviach vrátane elektroniky, optoelektroniky a palivových článkov s pevným oxidom.**
Čítaj viacOdoslať dopytVodiaci valec z nitridu kremíka od Semicorex predstavuje vrchol v pokročilom keramickom inžinierstve. Tento produkt ponúka pozoruhodnú kombináciu mechanických, tepelných a elektrických vlastností.**
Čítaj viacOdoslať dopytVákuové skľučovadlo Semicorex Al2O3 je navrhnuté tak, aby spĺňalo prísne požiadavky rôznych procesov výroby polovodičov, vrátane riedenia, krájania, čistenia a prepravy doštičiek. **
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Alumina Ceramic Vacuum Chuck is applied in the wafer thinning and grinding processes of semiconductor manufacturing, serving as an indispensable tool for achieving high-precision and reliable semiconductor production.**
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Ceramic Seal Part je dôkazom špičkovej vedy o materiáloch a inžinierskej zdatnosti, ktorá je navrhnutá tak, aby spĺňala náročné požiadavky na vysokovýkonné aplikácie mechanického tesnenia v rôznych odvetviach.**
Čítaj viacOdoslať dopyt