Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Pokročilé materiálové vlastnosti Semicorex SiC difúznej pecnej rúrky, vrátane vysokej pevnosti v ohybe, vynikajúcej odolnosti voči oxidácii a korózii, vysokej odolnosti proti opotrebovaniu, nízkeho koeficientu trenia, vynikajúcich mechanických vlastností pri vysokých teplotách a ultra vysokej čistoty, ju robia nepostrádateľnou v polovodičovom priemysle. najmä pre aplikácie v difúznych peciach. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávke vysokovýkonných SiC difúznych pecí, ktoré spájajú kvalitu s cenovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytVďaka vysokokvalitným materiálovým vlastnostiam predstavuje Semicorex SiC Diffusion Boat optimálnu funkčnosť v širokom spektre prevádzkových parametrov: tvrdosť, pružnosť a tepelná a chemická odolnosť atď. Tento výber materiálu je rozhodujúci pri znižovaní rizík kontaminácie, ochrane plátkov a odolnosti náročných podmienkach prítomných v procesoch výroby polovodičov. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných SiC difúznych člnov, ktoré spájajú kvalitu s nákladovou efektívnosťou.**
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex ICP Etching Plate je pokročilý, vysokovýkonný komponent špeciálne navrhnutý pre polovodičové aplikácie, vyrobený z materiálu Silicon Carbide (SiC). Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytReflektor Semicorex SiC je kľúčovým prvkom v rôznych procesoch výroby polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne*.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC keramické dosky na prenos tepla, založené na SiC ako primárnom materiáli, prechádzajú vysokoteplotným spekaním pri 2250 °C, výsledkom čoho je vysoko vitrifikované hutné keramické teleso s nulovou pórovitosťou s obsahom SiC ≥ 99,3 %. Táto keramika, ktorá vykazuje pevnosť v ohybe ≥410MPa a tepelnú vodivosť 140W/m.k, je jediným materiálom schopným odolávať korózii silnými kyselinami, ako je kyselina fluorovodíková (HF) a kyselina sírová (H2SO4) v polovodičovom priemysle. My v Semicorex sa venujeme výrobe a dodávaniu vysokovýkonných SiC keramických dosiek na prenos tepla, ktoré spájajú kvalitu s nákladovou efektívnosťou. **
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Carbide Ceramic Structural Parts, získané zo zŕn karbidu kremíka spojených dohromady spekaním, nachádzajú široké využitie v automobilovom, mechanickom, chemickom, polovodičovom, vesmírnom, mikroelektronickom a energetickom sektore, pričom plnia rozhodujúce úlohy v rôznych aplikáciách v týchto odvetviach. Vďaka svojim pozoruhodným vlastnostiam sa keramické konštrukčné diely z karbidu kremíka stali ideálnym materiálom pre drsné podmienky charakterizované vysokými teplotami, vysokým tlakom, koróziou a abráziou, ktoré poskytujú spoľahlivý výkon a dlhú životnosť v náročných prevádzkových prostrediach.**
Čítaj viacOdoslať dopyt