Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Semicorex poskytuje keramiku polovodičovej kvality pre vaše nástroje na polovýrobu OEM a komponenty na manipuláciu s plátkami. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom povlakového filmu z karbidu kremíka. Naša SiC objímka nápravy má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytPokročilé, vysoko čisté komponenty potiahnuté karbidom kremíka Semicorex sú skonštruované tak, aby odolali extrémnym prostrediam v procese manipulácie s plátkami. Náš Semiconductor Wafer Chuck má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytUltračisté keramické komponenty Semicorex, ideálne pre litografiu novej generácie a aplikácie na manipuláciu s plátkami, zaisťujú minimálnu kontamináciu a poskytujú výnimočne dlhú životnosť. Naše oblátkové vákuové skľučovadlo má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytOdolné zaostrovacie krúžky Semicorex pre spracovanie polovodičov sú navrhnuté tak, aby odolali extrémnym prostrediam plazmových leptacích komôr používaných pri spracovaní polovodičov. Naše zaostrovacie krúžky sú vyrobené z vysoko čistého grafitu potiahnutého hustým povlakom z karbidu kremíka (SiC), ktorý je odolný voči opotrebovaniu. Povlak SiC má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť. SiC nanášame v tenkých vrstvách na grafit pomocou procesu chemického nanášania pár (CVD), aby sme zlepšili životnosť našich zaostrovacích krúžkov.
Čítaj viacOdoslať dopytZaostrovací krúžok na spracovanie plazmou Semicorex je špeciálne navrhnutý tak, aby spĺňal vysoké požiadavky na spracovanie plazmového leptania v polovodičovom priemysle. Naše pokročilé, vysoko čisté komponenty potiahnuté karbidom kremíka sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam a sú vhodné na použitie v rôznych aplikáciách vrátane vrstiev karbidu kremíka a epitaxných polovodičov.
Čítaj viacOdoslať dopytPokročilé krúžky SiC Focus s vysokou čistotou Semicorex sú vyrobené tak, aby odolali extrémnym prostrediam v komorách na plazmové leptanie (alebo suché leptanie). Zameriavame sa na polovodičový priemysel, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Naše produkty majú dobrú cenovú výhodu a pokrývajú mnohé z európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt