Skenovacie zrkadlá kremíka

Zroky skenovania karbidu kremíka Semicorex sú ďalšou generáciou vysoko výkonných optických zariadení.  Zrkadlá, vyvinuté pre zrýchlený svet skenovania, poskytujú najnovšiu generáciu schopností riadenia a skenovania lúčov pre aplikácie vyžadujúce veľmi vysokú rýchlosť, vysoký stupeň stability a presnosť. Karbid kremíkaSkenovacie zrkadlá majú jedinečné atribúty vďaka svojej pokročilej výrobe keramiky - zrkadlá sú veľmi ľahké, ale majú dobré mechanické a tepelné vlastnosti. Preto sa považujú za ideálne pre optické systémy s vysokou presnosťou v odvetviach, ako je pokročilá litografia, vesmírne pozorovanie, laserové skenovanie alebo vysokorýchlostné/zobrazovanie v reálnom čase.

Kľúčovým aspektom funkčnosti skenovacích zrkadiel kremíkových karbidov je vývoj optimálnej špecifickej tuhosti, ktorá spĺňa požiadavky vysokovýkonného skenovania.  Modul s nízkou hustotou a vysoký elastický modul poskytujú vysokú úroveň tuhosti, a preto udržiavajú štrukturálne vlastnosti a zároveň pohybujú veľmi vysokými zrýchleniami a dynamickým pohybom.  Čím väčšia je tuhosť, tým nižšia je deformácia, keď je vystavená veľmi vysokému zaťaženiu, zaisťuje menšie optické skreslenie pri zobrazovaní vyžaduje presné umiestnenie pri vysokých rýchlostiach. Vo vysokofrekvenčných skeneroch zrkadlová tuhosť zlepší priamy rozlíšenie a čas usadenia.

Ďalšou špecifickou vlastnosťou je tvrdosť SIC.  Tvrdosť je definovaná ako schopnosť materiálu odolávať poškodeniu povrchu, škrabancami alebo opotrebením.  Zvýšená tvrdosť znamená dlhý prevádzkový život - dokonca aj v drsných podmienkach s abrazívnymi časticami a opakovanie čistenia. Vysoká tvrdosť tiež umožňuje zrkadlám udržiavať ich povrchovú presnosť počas predĺžených cyklov využívania, zachováva optický výkon a znižuje požiadavky na údržbu.

Termálne riadenie je ďalšou charakteristikou, v ktorej svieti karbid kremíka. Z dôvodu vysokej tepelnej vodivosti môže SIC rozptýliť hromadenie tepla z vysoko výkonných laserových lúčov alebo z tepelných environmentálnych zmien. Pomôže to minimalizovať tepelné gradienty, ktoré by mohli vytvárať zrkadlovú deformáciu alebo nesprávne zarovnanie, čo umožňuje konzistentný výkon počas dlhého prevádzkového používania. Vysoká tepelná stabilita Vertex SIC minimalizuje expanziu/kontrakciu so zmenami teploty, čím sa zachováva optické zarovnanie, keď je nevyhnutná rozmerová stabilita vo všetkých podmienkach prostredia, ktorá často zahŕňa prácu potrebnú pre vesmírne teleskopy alebo polovodičové litografické systémy.

Na uľahčenie výkonu a možností okolo jeho aplikácie je k dispozícii veľa možností povrchového náteru. Napríklad použitie povlaku SIC CVD môže zlepšiť povrchovú uniformitu, tvrdosť a zverenia. Zatiaľ čo kremíkové povlaky umožňujú lepšie reflexné rozhranie pre ďalšie optické povlaky, napríklad samotný zrkadlový povrch, a poskytujú príležitosti na optimalizáciu v závislosti od špecifických rozsahov vlnovej dĺžky, úrovní laserového výkonu a atmosférických podmienok. Môžete zabezpečiť, aby zrkadlo (napríklad) dosiahlo špecifickú požiadavku optickej a trvanlivosti zamýšľaného použitia s týmito ďalšími povrchovými povlakmi.

Ďalšou významnou výhodou skenovacích zrkadiel kremíkových karbidov je prispôsobenie vrátane tvaru a geometrie. Zrkadlá môžu byť prispôsobené tak, aby boli ploché, sférické a asférické povrchy a vysoká presnosť tvaru sa vo všeobecnosti očakáva v závislosti od optického dizajnu. Začlenením ľahkých chrbtových štruktúr sa hmotnosť zrkadiel môže ďalej znížiť bez straty tuhosti, čo umožňuje rýchlejšie skenovanie a rýchlejší čas reakcie systému. Všetky tieto vlastnosti poskytujú príležitosti na individualizované tvarovanie, dokončenie a povlaky pre každé zrkadlo v závislosti od optických a mechanických potrieb aplikácie.

Skenovacie zrkadlá kremíka karbidu sú obzvlášť výhodné v optických systémoch založených na vesmíre, kde hromadné úspory, tuhosť a tepelná stabilita pomáhajú zabezpečiť prežitie a výkon na obežnej dráhe. V litografii poskytujú dimenzionálna stabilita a charakteristiky vysokej tuhosti skenovacích zrkadiel SIC na úrovni nanometrov, ktoré sú rozhodujúce pre výrobu polovodičov. Vo vysoko výkonných laserových skenovacích systémoch poskytujú tepelné vlastnosti rozptyľujúce tepla a trvanlivosť povrchu dlhodobú stabilitu v priebehu času a minimálne skreslenie.

Skenovacie zrkadlá SEMICorex Silikon Carbid poskytujú neprekonateľnú kombináciu ľahkej konštrukcie, vysokej stuhnutosti, vysokej tvrdosti, vysokej tepelnej vodivosti a tepelnej stability. Jedinečné možnosti prispôsobiteľných tvarov, presného povrchového povrchu a inovatívne povlaky vrátane CVD SIC a kremíkových otvorených dverí a pridávajú výkonnostné charakteristiky a spoľahlivosť pre dnešné najnáročnejšie optické skenovacie aplikácie.