Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Valec z nitridu kremíka, prezentovaný spoločnosťou Semicorex, je vyrobený z tlakovo sintrovaného nitridu kremíka (Si3N4), vysokovýkonného keramického materiálu.
Čítaj viacOdoslať dopytRotačný tesniaci krúžok Semicorex SiC je navrhnutý tak, aby fungoval v podmienkach vysokého tlaku a vysokej teploty. Jeho stabilita a odolnosť v takýchto prostrediach z neho robí neoceniteľnú súčasť pri tesniacich aplikáciách, kde tradičné materiály môžu zlyhať.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Robot Arm je vysokovýkonné keramické robotické rameno z karbidu kremíka navrhnuté pre presnosť a odolnosť v procesoch výroby polovodičov. Vyberte si Semicorex pre našu odbornosť v poskytovaní inovatívnych, spoľahlivých a vysokokvalitných riešení prispôsobených potrebám polovodičového priemyslu.*
Čítaj viacOdoslať dopytČlny Semicorex SiC sú vysokovýkonné keramické držiaky doštičiek z karbidu kremíka navrhnuté pre presnosť a odolnosť pri difúznych procesoch. Vyberte si Semicorex pre bezkonkurenčnú kvalitu, odbornosť a prispôsobené riešenia, ktoré optimalizujú efektivitu vašej výroby.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Wafer Boat Holder je vysoko čistý keramický komponent z karbidu kremíka navrhnutý pre proces TOPCon typu N pri difúzii solárnych článkov, ktorý ponúka výnimočnú presnosť, odolnosť a spoľahlivosť. Vyberte si Semicorex pre inovatívne riešenia v oblasti polovodičových materiálov, podporované bezkonkurenčnými odbornými znalosťami a záväzkom ku kvalite.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Carbide Wafer Boats sú diely pre polovodičovú a fotovoltaickú výrobu, ktoré poskytujú vynikajúcu tepelnú stabilitu, mechanickú pevnosť a chemickú odolnosť. Vyberte si Semicorex pre jeho špičkovú technológiu, vynikajúcu kvalitu materiálov a odhodlanie dodávať spoľahlivé produkty s dlhou životnosťou, ktoré spĺňajú požiadavky pokročilých priemyselných procesov.*
Čítaj viacOdoslať dopyt