Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokým teplotám a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Vysoko čisté keramické komponenty SiC sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od spotrebných dielov pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako je napríklad čln z karbidu kremíka, konzolové lopatky, trubice atď. pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva konštrukciu karbidu kremíka (SiC) s vysokou čistotou, ktorá poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Konzolové pádlo →
Konzolová lopatka je kľúčovým komponentom používaným v procesoch výroby polovodičov, najmä v difúznych alebo LPCVD peciach počas procesov ako difúzia a RTP.
Procesná trubica →
Process Tube je kľúčový komponent, špeciálne navrhnutý v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia.
Oblátkové člny →
Wafer Boat sa používa pri spracovaní polovodičov a bol starostlivo navrhnutý tak, aby zabezpečil, že jemné doštičky budú počas kritických fáz výroby v bezpečí.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex má tiež keramické výrobky z oxidu hlinitého (Al2O3), nitridu kremíka (Si3N4), nitridu hliníka (AIN), oxidu zirkoničitého (ZrO2), kompozitnej keramiky atď.
Soldle s konzolovou konzolou SECorex sú vysokoúčinné konzolové konzolové konzolové vodáky používané v polovodičovom tepelnom spracovateľskom zariadení určené pre stabilnú manipuláciu s oblátkami vo vysokoteplotných prostrediach. Výber SemiCorex znamená výber materiálov s vysokou čistotou, vynikajúcu tepelnú stabilitu a vedúcu technológiu precíznej výroby, aby ste zabezpečili, že každý váš kritický proces je stabilný a spoľahlivý.*
Čítaj viacOdoslať dopytDržitelia lodí SEMicorex SIC sú základnými štrukturálnymi komponentmi, ktoré zabezpečujú presné a spoľahlivé polohovanie oblátok v polovodičovom tepelnom spracovaní. Vyberte si SemiCorex pre neprekonateľnú kvalitu, technické znalosti a záväzok rozvíjať vysokokvalitné riešenia SIC vo výrobe polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopytLode s oblátkami Semicorex sú keramické nosiče s presným inžiniermi určené pre vysokoteplotné spracovanie doštičiek vo výrobe polovodičov. Vyberte si SemiCorex pre jeho neprekonateľnú čistotu materiálu, pokročilú výrobnú technológiu a záväzok k kvalite, ktorá zaisťuje konzistentný výkon v najnáročnejších prostrediach čistých miestností.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SIC skúmavky sú trubice pece v peci z kremíka určené pre polovodičové vysokoteplotné procesy s vynikajúcou tepelnou stabilitou a chemickou odolnosťou proti korózii. Výber Semicorex High-čistoty surovín, procesy precíznej výroby a záruky dlhodobej spoľahlivosti, aby sa zabezpečila solídna podpora pre váš proces výroby polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopytBrzdy SemiCorex CCB (uhlíkovo-keramické brzdy s potiahnutou treniacou vrstvou) predstavujú ďalšiu generáciu vysokovýkonných brzdových roztokov, skonštruovaných na extrémnu trvanlivosť, tepelnú stabilitu a konzistentné brzdenie za najnáročnejších podmienok. Vyberte si SemiCorex pre svoje odborné znalosti v oblasti pokročilých keramických kompozitov a technológií poťahovania s presnosťou.*
Čítaj viacOdoslať dopytBrzdy SemiCorex CCM, vyrobené z pokročilých materiálov z uhlíkovej matrice, sú ideálnym riešením pre vysokovýkonné brzdenie v extrémnych jazdných prostrediach. Vyberte si SemiCorex pre naše neprekonateľné odborné znalosti v oblasti keramického kompozitného inžinierstva, precíznej výroby a odhodlania poskytovať konzistentnú kvalitu vyvolanú preteky.*
Čítaj viacOdoslať dopyt