Keramické oblátkové člny z karbidu kremíka

Výber prémiového materiálu

Vynikajúce vlastnosti keramiky z karbidu kremíka Semicorexoblátkové člnymožno pripísať vysokokvalitným surovinám. Keramické doštičky z karbidu kremíka, vyrobené z polovodičového materiálu SiSiC a pokryté CVD SiC povlakom, vykazujú nasledujúce vynikajúce vlastnosti.

1. Ultra vysoká čistota, bez uvoľnenia kovových nečistôt

Nečistota substrátu: ＜100 ppm

Nečistota povlaku CVD SiC: ＜1 ppm

2.Vynikajúca tepelná stabilita

Keramické doštičkové člny z karbidu kremíka sú schopné stabilne fungovať v podmienkach vysokej teploty 1250 °C, pričom poskytujú minimálnu deformáciu a odolnosť proti tečeniu.

3. Vysoká mechanická pevnosť

Karbid kremíkamá vysokú tvrdosť a odolnosť proti opotrebeniu, čo umožňuje keramickým doštičkovým člnom z karbidu kremíka Semicorex odolávať poškriabaniu, oderu a poškodeniu, a tak dobre funguje počas dlhodobej prevádzky a je odolný voči poškodeniu.

4. Výnimočná odolnosť proti korózii

Pretože karbid kremíka je odolný voči korózii silnými kyselinami a zásadami, keramické doštičky z karbidu kremíka Semicorex si môžu zachovať svoju štrukturálnu integritu a funkčný výkon aj vo vysoko korozívnych pracovných podmienkach.

Optimalizovaný konštrukčný dizajn

Keramické doštičky z karbidu kremíka Semicorex sú navrhnuté na dávkové spracovanie doštičiek, ich optimalizovaný štrukturálny rámec zaisťuje stabilnú podporu dávkových plátkov a konzistentnú stabilitu procesu pre každý plátok.

Vertikálna nosná konštrukcia 1,3 stĺpika

Vertikálna štruktúra keramických doštičiek z karbidu kremíka Semicorex im umožňuje bezproblémovo prispôsobiť sa aplikáciám vo vertikálnych peciach. Vďaka tejto štruktúre môžu keramické plátkové člny emicorex z karbidu kremíka uľahčiť homogénnu cirkuláciu procesných plynov a rovnomernú distribúciu tepelnej energie vo vysokoteplotnej peci.

2. Rovnomerne rozmiestnené štipce štrbín

Keramické člny z karbidu kremíka Semicorex sú vybavené viacerými presne opracovanými štrbinovými zásuvkami na ich podporných stĺpikoch. Ich rovnomerne rozmiestnené štipce štrbín dosahujú vhodnú vzdialenosť štrbín, čo umožňuje keramickým doštičkovým člnom z karbidu kremíka pevne zaistiť polovodičové doštičky, čím prispieva k zlepšeniu konzistencie výsledkov tepelného spracovania doštičiek.

S toľkými vynikajúcimi výkonmi a funkciami sú keramické doštičky z karbidu kremíka Semicorex široko používané v základných procesoch výroby polovodičových doštičiek, ako je oxidácia, difúzia, iónová implantácia a vysokoteplotné žíhanie.