ICP leptacia doska z karbidu kremíka

ICP leptacia doska z karbidu kremíkaje schopný poskytovať stabilnú podporu a presné umiestnenie plátkov pri operáciách leptania, čím účinne zabraňuje zníženiu presnosti leptania spôsobenému vibráciami alebo posunom.

ICP leptacia doska z karbidu kremíka má schopnosti tepelného manažmentu. Vynikajúca tepelná vodivosťSIC keramikadáva ICP leptacej doske z karbidu kremíka schopnosť rýchlo odvádzať teplo, čo pomáha predchádzať lokálnemu prehriatiu obrobku a zabezpečuje rovnomernosť teploty leptania, čím zlepšuje kvalitu leptania. SiC keramika má nízky koeficient tepelnej rozťažnosti, čo umožňuje leptacej doske ICP z karbidu kremíka udržiavať dobrú rozmerovú stabilitu a znižovať posun alebo deformáciu obrobku spôsobenú tepelnou rozťažnosťou.

ICP leptacia doska z karbidu kremíka, ktorá sa spolieha na svoju vynikajúcu tvrdosť a pevnosť, vykazuje schopnosť tolerovať mechanické namáhanie a plazmový náraz, ktoré sa vyskytujú počas procesu leptania s minimálnou deformáciou alebo poškodením. Táto schopnosť efektívne zlepšuje výťažnosť a efektivitu výroby polovodičových zariadení.

Prevádzkové prostredie ICP vyžaduje čistotu na úrovni polovodičov. ICP leptacia doska z karbidu kremíka spoločnosti Semicorex dokáže plne splniť túto požiadavku a poskytuje výnimočnú odolnosť voči chemickým plynom (ako je chlór a fluór) a plazme v prostredí ICP leptania. Táto významná vlastnosť udržuje procesné prostredie čisté znížením množstva kontaminantov uvoľnených počas leptacích operácií.

Semicorex uprednostňuje užívateľské pohodlie a ponúka prispôsobené návrhy ICP leptacej dosky z karbidu kremíka, ktoré sa hladko integrujú s existujúcimi ICP leptacími systémami a sú kompatibilné s rôznymi konfiguráciami. To umožňuje hladký prechod, čo z neho robí ideálne riešenie upgradu pre výrobcov zariadení.