Semicorex je veľký výrobca a dodávateľ keramiky potiahnutej karbidom kremíka v Číne. Zameriavame sa na polovodičový priemysel, ako sú vrstvy karbidu kremíka a epitaxné polovodiče. Naša mechanická upchávka z karbidu kremíka má dobrú cenovú výhodu a pokrýva mnohé európske a americké trhy. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom.
Mechanické tesnenie z karbidu kremíka musí fungovať v náročných podmienkach, vrátane vysokých rýchlostí, teplôt a tlakov, pričom musí zostať odolné voči korózii a opotrebovaniu. Semicorex technické mechanické tesnenie z karbidu kremíka vyznačuje optimálnu pevnosť, tuhosť, pevnosť v ohybe, tvrdosť a odolnosť voči korózii pre mechanické tesnenia. Sú obzvlášť vhodné pre zostavy suchého plynového tesnenia, ktoré vyžadujú nízke vychýlenie z vysokých rýchlostí a nízku tepelnú rozťažnosť z vysokých teplôt.
Parametre mechanickej upchávky z karbidu kremíka
Technické vlastnosti |
||||
Index |
Jednotka |
Hodnota |
||
Názov materiálu |
Reakčný spekaný karbid kremíka |
Beztlakový spekaný karbid kremíka |
Rekryštalizovaný karbid kremíka |
|
Zloženie |
RBSiC |
SSiC |
R-SiC |
|
Objemová hustota |
g/cm3 |
3 |
3,15 ± 0,03 |
2,60-2,70 |
Pevnosť v ohybe |
MPa (kpsi) |
338 (49) |
380 (55) |
80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C) |
Pevnosť v tlaku |
MPa (kpsi) |
1120(158) |
3970(560) |
> 600 |
Tvrdosť |
Tlačidlo |
2700 |
2800 |
/ |
Prelomenie húževnatosti |
MPa m1/2 |
4.5 |
4 |
/ |
Tepelná vodivosť |
W/m.k |
95 |
120 |
23 |
Koeficient tepelnej rozťažnosti |
10-60,1/°C |
5 |
4 |
4.7 |
Špecifické teplo |
Joule/g 0k |
0.8 |
0.67 |
/ |
Maximálna teplota vzduchu |
℃ |
1200 |
1500 |
1600 |
Modul pružnosti |
Gpa |
360 |
410 |
240 |
Rozdiel medzi SSiC a RBSiC:
1. Proces spekania je odlišný. RBSiC má infiltrovať voľný Si do karbidu kremíka pri nízkej teplote, SSiC vzniká prirodzeným zmršťovaním pri 2100 stupňoch.
2. SSiC majú hladší povrch, vyššiu hustotu a vyššiu pevnosť, pre niektoré tesnenia s prísnejšími požiadavkami na povrch budú SSiC lepšie.
3. Rôzny použitý čas pri rôznom PH a teplote, SSiC je dlhší ako RBSiC
Vlastnosti mechanického tesnenia z karbidu kremíka
- Zabráňte odlupovaniu a zabezpečte povlak na celom povrchu
Vysoká čistota: vyrobené chemickým nanášaním pár CVD za podmienok chlorácie pri vysokej teplote.
Odolnosť proti korózii: vysoká tvrdosť, hustý povrch a jemné častice.
Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám
- Dosiahnite najlepší vzor laminárneho prúdenia plynu
- Zaručiť rovnomernosť tepelného profilu
- Zabráňte šíreniu akejkoľvek kontaminácie alebo nečistôt
Dostupné tvary keramiky z karbidu kremíka:
● Keramická tyč / keramický kolík / keramický piest
● Keramická trubica / keramická objímka / keramická manžeta
● Keramický krúžok / keramická podložka / keramická rozpera
● Keramický disk
● Keramická doska / keramický blok
● Keramická guľa
● Keramický piest
● Keramická tryska
● Keramický téglik
● Ďalšie zákazkové keramické diely