Procesná trubica z karbidu kremíka

Semicorex Silicon Carbide Process Tube je kľúčovým komponentom v oblasti výroby polovodičov, špeciálne navrhnutý na použitie vo vertikálnych peciach používaných v rôznych aplikáciách spracovania polovodičov, ako je RTP, difúzia. Táto špecializovaná trubica hrá kľúčovú úlohu pri uľahčovaní kontrolovaného a presného tepelného spracovania polovodičových doštičiek počas ich cesty kritickými výrobnými procesmi.

Táto procesná trubica z karbidu kremíka je vyrobená z vysoko čistého karbidu kremíka a vykazuje výnimočnú tepelnú vodivosť, odolnosť voči extrémnym teplotám a vynikajúcu mechanickú pevnosť. Vďaka svojim jedinečným materiálovým vlastnostiam je ideálnou voľbou pre aplikácie vyžadujúce zvýšené teploty a drsné chemické prostredie, s ktorým sa bežne stretávame pri spracovaní polovodičov.

Vo vertikálnej peci poskytuje procesná trubica z karbidu kremíka ochrannú a riadenú atmosféru pre polovodičové doštičky, keď prechádzajú procesmi ako RTP. RTP zahŕňa rýchle cykly zahrievania a chladenia nevyhnutné na aktiváciu dopantov, žíhanie a ďalšie tepelné úpravy, ktoré sú kľúčové pre výrobu polovodičových zariadení. Robustná povaha procesnej trubice z karbidu kremíka zaisťuje dlhú životnosť a spoľahlivosť v tak náročných tepelných a chemických prostrediach, čo prispieva k celkovej účinnosti a presnosti procesu výroby polovodičov.