Vákuum kremíka z karbidu kremíka

Vákuum karbidu kremíka Semicorex je dôležitou súčasťou výroby polovodičov pre procesy, ktoré potrebujú vysokú presnosť a nízku kontamináciu. Vákuové skľučovky sú vyrobené z vysoko výlučnej poréznej kremíkovej karbidovej keramiky a poskytujú vynikajúcu mechanickú pevnosť, tepelnú vodivosť a chemickú inertnosť a obsahuje presne kontrolovanú štruktúru pórov pre spoľahlivú zadržanie vákua. Vákuum kremíka karbidu kremíka je funkčné adsorpčné zariadenie vyrobené z keramického materiálu kremíkového karbidu (SIC), ktorý sa spolieha na vákuový negatívny tlak, elektrostatickú adsorpciu alebo mechanické upínanie, aby sa zabezpečilo stabilné uchopenie obrobku. Vákuové skľučovky sa používajú v polovodičoch, fotovoltaike, presnej výrobe a ďalších aplikáciách, ktoré majú mimoriadne vysoké požiadavky na odolnosť proti vysokej teplote materiálu, odolnosť proti opotrebeniu a čistote.

Základňazaniknúťje pórovitý materiál SIC, ktorý má predvídateľný vzduch prenikajúci cez jeho povrch. To znamená, že je možné bezpečne adsorbovať oblátku bez mechanického upínania, a preto nepodstatné potenciál fyzického poškodenia alebo kontaminácie vzorky. Pórovitosť materiálu je pevne regulovaná - zvyčajne má pórovitosť 35 - 40% - na zabezpečenie správneho vákuového rozloženia, ale tiež splnenie štrukturálnych požiadaviek na trvalé tepelné a mechanické cyklovanie.

Oblátkové vákuové skľučovaniesú zvyčajne vyrobené z tvrdého povrchu s mnohými malými otvormi alebo kanálmi na povrchu. Prostredníctvom týchto malých otvorov môže byť skľučanie pripojený k vákuovej pumpe, ktorá vytvára vákuový efekt. Keď je oblátka umiestnená na skľučovku, vákuové čerpadlo je zapnuté a vzduchom je pretiahnutý cez malé otvory, čím sa vytvorí vákuum medzi oblátkou a skľučením. Tento vákuový efekt vytvára dostatočné nasávanie, aby pevne pripevnil oblátku k povrchu skľučenia.

Keramické povrchy sa často používajú v aplikáciách, ktoré si vyžadujú vysokú čistotu a chemickú stabilitu. Keramika sú materiály produkované vysokoteplotnou fúziou minerálov. Všeobecne povedané, keramika sú elektrické izolátory alebo polovodiče a majú vysoký odpor voči tepelnému rozpadu, erózii a poškodeniu.

SemiCorex vytvára vlastné vákuum kremíkového karbidu kremíka podľa špecifikácií zákazníka pre veci, ako sú rozmery, pórovitosť, povrchová úprava a vzory na vysávač. V dôsledku našich výrobných a čistých schopností miestnosti ponúkame to najlepšie v nízkom prepustení a čistote častíc, aby sme prispôsobili požiadavkám čistoty všetkých výrobcov polovodičových Fabs a zariadení.

Môžeme urobiť skľučovadlo pre ľubovoľnú oblátku, od 2-palcových do 12-palcových oblátok a prispôsobenie na integráciu skľučenia do množstva spracovateľského zariadenia na oblátky. Môže sa použiť pre procesy front-end a/alebo procesy back-end, vďaka čomu je SIC vákuum Chucku ekonomickým, presným, stabilným a kontamináciou bezplatnými prostriedkami podpory oblátok v pracovnom toku polovodiča Fab.

Vákuum kremíkového karbidu kremíka je nevyhnutným nástrojom v dnešnej výrobe polovodičov, ktorý kombinuje najlepšie materiály a inžinierstvo. Trvalá a adherentná spoľahlivosť prostredníctvom tepelných a chemických extrémov z neho robí dokonalú podporu v procesných aplikáciách, ktoré zahŕňajú voskovanie, riedenie, čistenie a RTA. Obstaraním vákuového skľučenia kremíka pomocou SideCorexu zaisťujete najlepšiu čistotu materiálu, vlastné riešenia a spoľahlivý výkon pre vynikajúce výsledky vo všetkých vašich spracovateľských vedeniach doštičiek.