Silikónové leptacie krúžky

Silikónové leptacie krúžky sú základnými komponentmi v plazmovej leptacej komore CCP/ICP leptacieho zariadenia a sú zvyčajne umiestnené okolo polovodičovej doštičky. Ich primárnou funkciou je podpora polovodičového plátku, udržiavanie rovnomernej distribúcie plazmy, ochrana okraja plátku, a tým pomáhajú vytvárať optimálne prevádzkové podmienky pre proces plazmového leptania.

Výhody silikónových leptacích krúžkov Semicorex

1. Výber prémiového materiálu

Silikónové leptané krúžky Semicorex sú vyrobené zo starostlivo vybraného vysoko čistého MCZmonokryštalický kremík, ktorý ponúka nasledujúce vynikajúce vlastnosti oproti bežnému CZ monokryštalickému kremíku.

Vysoká čistota: Čistota je nad 99,9999999 %, čo znamená, že silikónové leptacie krúžky Semicorex neobsahujú takmer žiadne nečistoty. Táto ultra vysoká čistota môže účinne zabrániť interferencii nečistôt komponentov počas procesu leptania, čím je zaručená vysoká presnosť leptania.

Stabilná štruktúra: Monokryštalický kremík MCZ má vynikajúcu kryštálovú štruktúru s nižšími chybami ako bežný monokryštalický kremík CZ. Táto stabilná kryštálová štruktúra dáva silikónovým leptacím krúžkom Semicorex zvýšenú odolnosť proti korózii voči plazmovej korózii a umožňuje im odolávať drsným prevádzkovým podmienkam leptania.

Vynikajúca rovnomernosť odporu:Silikónové leptacie krúžky Semicorexposkytujú výnimočnú rovnomernosť odporu s RRG < 5 %. Low Res. (<0,02 Ω·cm), stredná rez. (0,2–25 Ω·cm), vysoké rozlíšenie (>100 Ω·cm). Táto vynikajúca rovnomernosť odporu môže minimalizovať nerovnomernú distribúciu plazmy spôsobenú nadmerne vysokým alebo nízkym odporom, čo prispieva k ideálnemu elektrickému poľu pre vysoko presné plazmové leptanie.

2. Presné spracovanie a prísna kontrola kvality

Semicorex sa môže pochváliť skúseným technickým tímom, ktorý môže poskytnúť personalizované prispôsobenie a technické hodnotenia pre našich vážených zákazníkov, a tiež zaviedol systematické postupy spracovania a kontroly na zaručenie kvality produktov.

Flexibilné služby prispôsobenia: Semicorex podporuje prispôsobenie na základe zákazníckych výkresov a maximálny vlastný priemer silikónových leptacích krúžkov môže byť až 470 mm.

Vysoko štandardná povrchová úprava: Presnosť leštenia možno prísne kontrolovať v rámci Ra < 0,1 µm a jemné brúsenie dosahuje povrchovú úpravu Ra > 0,1 µm.

Prísna kontrola kvality: Vykoná sa meranie rozmerov, testovanie odporu a vizuálna kontrola, aby sa zabezpečilo, že kremíkové leptacie krúžky sú bez triesok, škrabancov, prasklín, škvŕn a iných defektov.