Nosič kremíkovej doštičky

Semicorex poskytuje polovodičovú keramiku pre vaše nástroje na polovýrobu OEM a komponenty na manipuláciu s plátkami so zameraním na vrstvy karbidu kremíka v polovodičovom priemysle. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom nosiča Silicon Wafer Carrier. Náš nosič Silicon Wafer Carrier má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Procesy nanášania polovodičov využívajú kombináciu prchavých prekurzorových plynov, plazmy a vysokej teploty na vrstvenie vysokokvalitných tenkých vrstiev na doštičky. Nanášacie komory a nástroje na manipuláciu s plátkami potrebujú odolné keramické komponenty, aby obstáli v týchto náročných prostrediach.
Semicorex Silicon Wafer Carrier je vysoko čistý karbid kremíka, ktorý má vysokú odolnosť proti korózii a teplu, ako aj vynikajúcu tepelnú vodivosť.

Parametre nosiča kremíkovej doštičky

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Názov materiálu		Reakčný spekaný karbid kremíka	Beztlakový spekaný karbid kremíka	Rekryštalizovaný karbid kremíka
Zloženie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnosť v ohybe	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnosť v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdosť	Tlačidlo	2700	2800	/
Prelomenie húževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivosť	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelnej rozťažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Špecifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximálna teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Modul pružnosti	Gpa	360	410	240

Rozdiel medzi SSiC a RBSiC:

1. Proces spekania je odlišný. RBSiC má infiltrovať voľný Si do karbidu kremíka pri nízkej teplote, SSiC vzniká prirodzeným zmršťovaním pri 2100 stupňoch.

2. SSiC majú hladší povrch, vyššiu hustotu a vyššiu pevnosť, pre niektoré tesnenia s prísnejšími požiadavkami na povrch budú SSiC lepšie.

3. Rôzny použitý čas pri rôznych PH a teplote, SSiC je dlhší ako RBSiC

Vlastnosti silikónového nosiča

Vysoko čistý grafit potiahnutý SiC
Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
Jemný kryštál SiC potiahnutý pre hladký povrch
Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
Materiál je navrhnutý tak, aby nedochádzalo k prasklinám a delaminácii.

Dostupné tvary keramiky z karbidu kremíka：

● Keramická tyč / keramický kolík / keramický piest

● Keramická trubica / keramická objímka / keramická manžeta

● Keramický krúžok / keramická podložka / keramická rozpera

● Keramický disk

● Keramická doska / keramický blok

● Keramická guľa

● Keramický piest

● Keramická tryska

● Keramický téglik

● Ďalšie zákazkové keramické diely