TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coated Wafer Susceptor je kľúčovým komponentom používaným v peciach metal-organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) na epitaxné (epi) spracovanie polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate je špičkové riešenie navrhnuté tak, aby spĺňalo prísne požiadavky výroby polovodičov, najmä v štádiu epitaxného (epi) spracovania. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Guide Ring, vrchol inovácie v SiC (karbid kremíka) monokryštálových rastových peciach. Tento vodiaci krúžok, starostlivo navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky polovodičového priemyslu, sľubuje predefinovanie procesov rastu kryštálov s bezkonkurenčnou presnosťou a spoľahlivosťou.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex špičkový grafitový susceptor potiahnutý TaC, revolučný komponent navrhnutý na pozdvihnutie epitaxného procesu vášho plátku na novú úroveň účinnosti a presnosti. Grafitový susceptor s povlakom Semicorex TaC, vyrobený s bezkonkurenčnými odbornými znalosťami a využívajúcimi najmodernejšie technológie, je navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky výroby polovodičov.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex poskytuje vysokokvalitné grafitové diely potiahnuté karbidom tantalu s prispôsobeným servisom. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex poskytuje grafitový susceptor potiahnutý karbidom tantalu s prispôsobeným servisom. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt