TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex TaC Coated Guide Ring, vrchol inovácie v SiC (karbid kremíka) monokryštálových rastových peciach. Tento vodiaci krúžok, starostlivo navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky polovodičového priemyslu, sľubuje predefinovanie procesov rastu kryštálov s bezkonkurenčnou presnosťou a spoľahlivosťou.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex špičkový grafitový susceptor potiahnutý TaC, revolučný komponent navrhnutý na pozdvihnutie epitaxného procesu vášho plátku na novú úroveň účinnosti a presnosti. Grafitový susceptor s povlakom Semicorex TaC, vyrobený s bezkonkurenčnými odbornými znalosťami a využívajúcimi najmodernejšie technológie, je navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky výroby polovodičov.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex poskytuje vysokokvalitné grafitové diely potiahnuté karbidom tantalu s prispôsobeným servisom. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex poskytuje grafitový susceptor potiahnutý karbidom tantalu s prispôsobeným servisom. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytPorézny grafit s povlakom Semicorex TaC je pokročilý materiál s vysokou čistotou pri spracovaní polovodičov. Toto kľúčové zariadenie hrá kľúčovú úlohu v procese rastu monokryštálov SiC. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytAko profesionálna výroba by sme vám radi poskytli krúžky potiahnuté TaC. Predstavujeme CVD Tac Coated Ring, najmodernejšie riešenie pre polovodičové zariadenia. Tento špičkový produkt sa môže pochváliť pokročilou vrstvou chemickej parnej depozície (CVD), ktorá poskytuje výnimočnú trvanlivosť a odolnosť voči opotrebovaniu.
Čítaj viacOdoslať dopyt