TaC povlakový grafit je vytvorený potiahnutím povrchu vysoko čistého grafitového substrátu jemnou vrstvou karbidu tantalu patentovaným procesom chemického nanášania z plynnej fázy (CVD).
Karbid tantalu (TaC) je zlúčenina, ktorá pozostáva z tantalu a uhlíka. Má kovovú elektrickú vodivosť a výnimočne vysoký bod topenia, čo z neho robí žiaruvzdorný keramický materiál známy svojou pevnosťou, tvrdosťou a odolnosťou voči teplu a opotrebovaniu. Teplota topenia karbidov tantalu vrcholí pri asi 3880 °C v závislosti od čistoty a má jeden z najvyšších bodov topenia medzi binárnymi zlúčeninami. Vďaka tomu je atraktívnou alternatívou, keď požiadavky na vyššie teploty presahujú výkonové možnosti používané v epitaxných procesoch zložených polovodičov, ako sú MOCVD a LPE.
Materiálové údaje Semicorex TaC Coating
Projekty |
Parametre |
Hustota |
14,3 (gm/cm³) |
Emisivita |
0.3 |
CTE (×10-6/K) |
6.3 |
Tvrdosť (HK) |
2000 |
Odpor (Ohm-cm) |
1×10-5 |
Tepelná stabilita |
<2500 ℃ |
Zmena rozmeru grafitu |
-10~-20um (referenčná hodnota) |
Hrúbka povlaku |
≥20um typická hodnota (35um±10um) |
|
|
Vyššie uvedené sú typické hodnoty |
|
Semicorex Tantalum Carbide Coated Ring je kľúčový komponent používaný pri spracovaní polovodičov. Je navrhnutý so špecializovaným povlakom, ktorý slúži viacerým funkciám na zvýšenie účinnosti a životnosti grafitových komponentov v rámci polovodičových strojov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Graphite Parts sú precízne vyrobené komponenty, ktoré sú špeciálne navrhnuté tak, aby odolali náročnému prostrediu spracovania polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Graphite Cover predstavuje špičkové riešenie v oblasti tepelných aplikácií pre rast kryštálov a epitaxné (epi) procesy. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coating Ring stojí ako kľúčový komponent v oblasti rastu monokryštálov v tepelnom poli. Tento špecializovaný vodiaci krúžok, vyrobený s presnosťou a inováciou, hrá kľúčovú úlohu v zložitom procese výroby monokryštalických materiálov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Coated Wafer Susceptor je kľúčovým komponentom používaným v peciach metal-organic Chemical Vapour Deposition (MOCVD) na epitaxné (epi) spracovanie polovodičov. Semicorex sa zaviazal poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex TaC Tantalum Carbide Coated Plate je špičkové riešenie navrhnuté tak, aby spĺňalo prísne požiadavky výroby polovodičov, najmä v štádiu epitaxného (epi) spracovania. Semicorex je odhodlaný poskytovať kvalitné produkty za konkurencieschopné ceny, tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.
Čítaj viacOdoslať dopyt