Vákuové skľučovky Semicorex sú ideálnym riešením pre manipuláciu s oblátkami v polovodičových a presných odvetviach. Vďaka rôznym možnostiam základného materiálu, prispôsobeniam keramických tanierov a presným riadením rovinnosti naše vákuové skľučovky zaisťujú spoľahlivú stabilitu oblátkov a vynikajúce výsledky procesu. Tieto skľučovky, ktoré sú navrhnuté tak, aby vyhovovali prísnym požiadavkám modernej výroby polovodičov, dodávajú jedinečný výkon, čím sa zabezpečujú, že vaše procesy zostanú efektívne a nákladovo efektívne.*
Vákuové skľučovky Semicorex sú roztoky s presným inžinierstvom určené na zabezpečenie bezpečného, stabilného a efektívneho manipulácie s doštičkami vo výrobných procesoch polovodičov. Tieto vákuové skľučenia sa používajú hlavne na držanie doštičiek počas rôznych fáz spracovania, čím sa zabezpečuje minimálne poškodenie doštičiek, maximálnu stabilitu a zvýšenú účinnosť procesu. Naše vákuové skľučovanie sú k dispozícii v rôznych základných materiáloch a keramických doskách, ktoré ponúkajú prispôsobené riešenia, ktoré uspokoja rôzne potreby polovodičového priemyslu a ďalšie presné priemyselné odvetvia.
Kľúčové vlastnosti a materiály
SemiCorex ponúka celý rad možností základného materiálu pre vákuum skľučovadla, čo umožňuje prispôsobenie na základe konkrétnych požiadaviek na aplikáciu:
Základné materiály:
Keramické dosky:
Alumina (al₂o₃): Hliníkové platne sú známe svojimi vysokými elektrickými izolačnými vlastnosťami, odporom opotrebenia a stabilitou vysokej teploty. Sú vhodné pre prostredia, kde sú rozhodujúce minimálna kontaminácia a vysoký výkon.
Karbid kremíka (SIC): SIC keramické platne poskytujú výnimočnú tvrdosť, vysokú tepelnú vodivosť a stabilitu pri zvýšených teplotách, vďaka čomu sú ideálne pre pokročilé procesy manipulácie s oblátkami pri výrobe polovodičov.
Presnosť plochosti a výber materiálu
Rovina povrchu Chucka je kritickým faktorom pri zabezpečovaní správnej manipulácie s oblátkami a optimálnymi výsledkami procesu. Výber materiálu ovplyvňuje presnosť rovinnosti, ako aj celkovú hmotnosť a tepelné vlastnosti vákua Chuck.
Presnosť plochosti:
Hliníková zliatina 6061: Poskytuje vynikajúcu rovinnosť s presnosťou, vďaka čomu je obľúbenou voľbou pre menej náročné úlohy manipulácie s oblátkami.
SUS430: Zatiaľ čo ponúka pevnú mechanickú stabilitu, SUS430 má mierne nižšiu presnosť rovinnosti ako zliatina hliníka.
Alumina keramika (99% hliník): ponúka najlepšiu presnosť rovinnosti kvôli svojej vysokej rozmerovej stabilite pri vysokých teplotách a mechanickom napätí.
Žula: Známy pre svoju stabilitu, žula poskytuje presnú rovinnosť, najmä v prostrediach citlivých na vibrácie.
Keramika z karbidu kremíka: Poskytuje vynikajúcu presnosť rovinnosti a je ideálna pre manipuláciu s vysokými teplotami do vysokorýchlostných aplikácií.
Úvahy o váhe
Hmotnosť vákuového skľučenia je ďalším dôležitým faktorom, najmä pre aplikácie, v ktorých je kľúčovým faktorom ľahkosť manipulácie a manipulácie Chucka.
Hliníková zliatina 6061: Najľahší materiál, vďaka čomu je ideálny pre aplikácie, ktoré si vyžadujú zníženú váhu bez obetovania sily.
Žula: Ťažšia ako hliník, hmotnosť žuly poskytuje ďalšiu stabilitu, najmä v procesoch, kde je tlmenie vibrácií rozhodujúce.
Keramika z karbidu kremíka (SIC): Aj keď je ťažšia ako hliník, výnimočná sila SIC a tepelná stabilita z neho robia materiál zvoleného pre náročné aplikácie.
Alumina keramika (99% hliník): Podobná hmotnosť ako žula poskytuje hliník rovnováha stability, hmotnosti a vysokej teploty odporu.
Možnosti prispôsobenia
Naše vákuové skľučovky môžu byť prispôsobené rôznym veľkostiam pórov v keramických doskách, aby vyhovovali konkrétnym potrebám aplikácie. Keramické platne sa dajú prispôsobiť aj rôznymi farbami, čo umožňuje ľahkú identifikáciu rôznych skľučov používaných v rôznych procesoch.
Žiadosti
Vákuové skľučovanie Semicorex sú nevyhnutné nástroje v širokej škále procesov výroby polovodičov vrátane:
Vákuové skľučovky Semicorex sú navrhnuté pre presnosť, trvanlivosť a všestrannosť. Ponúkame výber vysoko kvalitných základných materiálov spárovaných s prispôsobiteľnými keramickými doskami, čo nám umožňuje vytvárať prispôsobené riešenia pre rôzne výrobné procesy. Či už potrebujete ľahké, vysoko presné doštičky alebo materiály, ktoré vydržia extrémne teploty, naše vákuové skľučenia dodávajú potrebnú spoľahlivosť a výkon. Výberom Semicorexu investujete do vysoko výkonného produktu podporovaného výnimočným odborným znalostiam v oblasti inžinierstva a výroby.