Vertikálny oblátkový čln

Semicorex Vertical Wafer Boat je špeciálne navrhnutý nosič pre viacero plátkov, ktorý maximalizuje priestorovú efektivitu v spracovateľských komorách. Tieto vertikálne oblátkové člny majú zvyčajne obdĺžnikový alebo valcový tvar a každý čln má precízne spracované štrbiny alebo vrecká, ktoré sú rozmiestnené tak, aby bezpečne držali jednotlivé oblátky vo vzpriamenej polohe. Vertical Wafer Boat sú vyrobené z karbidu kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám, korozívnym chemikáliám a mechanickému namáhaniu, vďaka čomu sú ideálne na ochranu plátkov pred možným poškodením.

Počas výroby polovodičov prechádzajú doštičky mnohými zložitými procesmi vrátane difúzie, RTP a tepelných polí. Vertical Wafer Boat hrá dôležitú úlohu pri uľahčovaní týchto procesov tým, že slúži ako nosič plátkov, čo umožňuje bezproblémový prenos medzi rôznymi zariadeniami a stupňami. Jeho vertikálna orientácia minimalizuje stopu v spracovateľských komorách, optimalizuje priepustnosť a umožňuje efektívnu manipuláciu s veľkými dávkami doštičiek.

Semicorex Vertical Wafer Boat je základným kameňom spracovania polovodičov a poskytuje robustné a spoľahlivé riešenie pre bezpečnú manipuláciu a prepravu doštičiek v rôznych fázach výroby. Jeho pokrokový dizajn spojený s výnimočnými vlastnosťami SiC podčiarkuje jeho kľúčovú úlohu pri výrobe špičkových polovodičových zariadení.