Nosič člnov oblátok

Semicorex Wafer Boat Carrier je vyrobený z grafitu, ktorý je známy svojim výnimočným pomerom pevnosti k hmotnosti a tepelnou vodivosťou. Na zvýšenie odolnosti je však každá nádoba podrobená procesu CVD SiC povlaku. Tento náter nielen spevňuje čln proti drsnému spracovateľskému prostrediu, ale tiež ho chráni pred chemickou koróziou a tepelnými šokmi, čím zabezpečuje dlhú životnosť a spoľahlivosť aj v tých najnáročnejších podmienkach.

Nosič lodí Wafer Boat Carrier je navrhnutý s precíznym dôrazom na detail. Jeho štruktúra je optimalizovaná pre maximálnu účinnosť a bezpečnosť, s presnými rozmermi a starostlivo navrhnutými geometriami, ktoré zaisťujú bezpečné a stabilné umiestnenie jemných polovodičových doštičiek počas spracovania. Tým sa minimalizuje riziko poškodenia alebo kontaminácie.

Wafer Boat Carrier je všestranné riešenie prispôsobiteľné nespočetnému množstvu aplikácií. Môže sa použiť pri epitaxnom raste, chemickom nanášaní pár a iných procesoch výroby polovodičov. Vďaka svojej robustnej konštrukcii a chemickej inertnosti je kompatibilný so širokou škálou procesných chémií a zabezpečuje bezproblémovú integráciu do rôznych spracovateľských prostredí.