> Produkty > Keramické > Karbid kremíka (SiC) > Oblátkový čln pre polovodičový proces

Produkty

nové produkty

Oblátkový čln pre polovodičový proces

Semicorex ponúka člny, podstavce a vlastné nosiče plátkov pre vertikálne/stĺpové aj horizontálne konfigurácie. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom povlakového filmu z karbidu kremíka. Náš Wafer Boat for Semiconductor Process má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Semicorex SiC Wafer Boat pre polovodičový proces, dokonalé riešenie pre manipuláciu a ochranu plátkov pri výrobe polovodičov. Náš plátkový čln pre polovodičový proces je vyrobený z vysoko kvalitného karbidu kremíka, ktorý má dobrú odolnosť proti korózii a vynikajúcu odolnosť voči vysokým teplotám a tepelným šokom. Pokročilá keramika poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvanlivosť plazmy a zároveň zmierňuje častice a kontaminanty pre vysokokapacitné nosiče plátkov.

Parametre Wafer Boat pre polovodičový proces

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Názov materiálu		Reakčný spekaný karbid kremíka	Beztlakový spekaný karbid kremíka	Rekryštalizovaný karbid kremíka
Zloženie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnosť v ohybe	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnosť v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdosť	Tlačidlo	2700	2800	/
Prelomenie húževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivosť	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelnej rozťažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Špecifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximálna teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Modul pružnosti	Gpa	360	410	240

Vlastnosti Wafer Boat pre polovodičový proces

Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
Jemný kryštál SiC potiahnutý pre hladký povrch
Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
Materiál je navrhnutý tak, aby nedochádzalo k prasklinám a delaminácii.