Oblátkový čln

Semicorex Wafer Boat je navrhnutý tak, aby vydržal drsné podmienky difúznej pece, ako sú vysoké teploty, korozívne prostredie a potreba presného umiestnenia plátkov počas procesu difúzie.

Wafer Boat je vyrobený z keramiky z karbidu kremíka, ktorý bol vybraný pre svoje výnimočné vlastnosti. Karbid kremíka je známy svojou vysokou tepelnou vodivosťou, ktorá zaisťuje rovnomerné rozloženie teploty na doštičkách počas difúzie. Táto jednotnosť je rozhodujúca pre zachovanie integrity doštičiek a zabezpečenie konzistentných úrovní dopovania, ktoré sú nevyhnutné pre funkčnosť vyrábaných polovodičových súčiastok. Okrem toho vysoký bod topenia a tepelná stabilita karbidu kremíka umožňujú lodi Wafer Boat pracovať pri zvýšených teplotách požadovaných pri difúznych procesoch, často presahujúcich 1000 °C, bez degradácie alebo deformácie.

Jednou z kľúčových výhod keramiky z karbidu kremíka vo Wafer Boat je jej vynikajúca chemická odolnosť. Tento odpor je obzvlášť dôležitý pri udržiavaní čistoty polovodičových doštičiek, pretože akákoľvek kontaminácia by mohla viesť k defektom v konečnom produkte, čo by ohrozilo výkon integrovaných obvodov.

Štrukturálna integrita Wafer Boat je ďalším kritickým faktorom pri jeho návrhu. Konštrukcia musí zabezpečiť, aby plátky boli bezpečne držané na mieste, s presným rozostupom, aby sa umožnilo rovnomerné vystavenie reaktívnym plynom. Táto presnosť je životne dôležitá pre dosiahnutie rovnomerného dopovania vo všetkých doštičkách, čo priamo ovplyvňuje elektrické charakteristiky polovodičových zariadení.

Okrem svojich tepelných a chemických vlastností ponúka keramika z karbidu kremíka vynikajúcu rozmerovú stabilitu, ktorá je rozhodujúca pre požiadavky na vysokú presnosť výroby polovodičov. Táto stabilita zaisťuje, že doštičky zostanú dokonale zarovnané, čo umožňuje presné a rovnomerné rozptyľovanie prímesí po celom povrchu každej doštičky, čo vedie k výrobe vysokokvalitných polovodičových prvkov.

Semicorex Wafer Boat vyrobený z keramiky z karbidu kremíka je základnou súčasťou procesu difúzie polovodičov. Vďaka svojej výnimočnej tepelnej vodivosti, chemickej odolnosti, mechanickej pevnosti a rozmerovej stálosti sa ideálne hodí pre náročné podmienky výroby polovodičov. Jeho použitie nielen zvyšuje efektivitu a spoľahlivosť difúzneho procesu, ale prispieva aj k celkovej nákladovej efektívnosti výroby polovodičov.