Doštičkové lode

Polovinové doštičky vyrábané z vysokokvalitného karbidu kremíka (SIC) sú základnými komponentmi pri výrobe polovodičov. Polovodičové procesy, v ktorých sa používajú, zvyčajne zahŕňajú vysoké teplotné a korozívne prostredia, ako sú difúzia, oxidácia a procesy LPCVD. Aplikácia člnov SIC Waferov bola skonštruovaná na maximalizáciu tepelnej stability a chemického odporu, čo umožňuje optimálnu podporu, zarovnanie a transport kremíkových doštičiek počas spracovania pre optimálne výnosy a výkon zariadenia.

Silikónový karbid je dobre zdokumentovaný ako vynikajúca tepelne vodivú keramiku, ktorá vykazuje vysokú mechanickú pevnosť a vynikajúcu odolnosť proti tepelnému nárazu, oxidačnú odolnosť a agresívnu chemickú rezistenciu s chemikáliami, ako je HF a HCL. Vlastnosti SIC ho robia obzvlášť atraktívnym ako materiál pre oblátky pre procesy výroby polovodičov novej generácie a vo vysokoteplotných prostrediach. Lode s oblátkami SIC môžu udržiavať štrukturálnu integritu a rozmerovú stabilitu pri procesných teplotách> 1500 ° C, čo minimalizuje riziko deformácie alebo kontaminácie doštičiek pri kritických tepelných ošetreniach.

Každý sicčlnsa vyrába z vysoko čistoty SIC pomocou pokročilých procesov formovania keramiky a spekania a môže sa prispôsobiť rozsiahlemu rozsahu priemerov oblátok (100 mm, 150 mm, 200 mm, 300 mm), ako aj pre konfigurácie stohovania, či už vertikálne alebo horizontálne. Naše člny SIC Wafers majú hladké povrchy a vynikajúcu rovinnosť, ktorá minimalizuje tvorbu častíc a sú ideálne pre automatizované systémy manipulácie s oblátkami.

Kontrola kontaminácie a výnos sú dva z najdôležitejších problémov v moderných Fabs. Čistota a spoľahlivosť nosičov SIC ovplyvňujú kvalitu produktu a výkonnosť procesu konzistencie.  Lode s oblátkami SIC majú oveľa lepšiu dlhovekosť na používanie, majú menej požiadaviek na údržbu a nižšie TCO ako alternatívy založené na kremennom alebo hliníku. Lepšia dlhá životnosť tiež znamená menej problémov s odkladaním mikropodnikov, a preto opäť ovplyvňuje čistotu povrchu doštičiek a ovplyvňuje čistotu čistých miestností.

SemiCorex sa zameriava na navrhovanie a výrobu lodí SIC Wafer, ktoré využívajú najvyššie možné suroviny čistoty kombinované s nízkym kontaminačným atmosférovým spekaním.  Vynakladáme maximálne úsilie na udržanie nízkej úrovne nečistoty, udržiavanie pórovitosti pri nízkej hodnote a jednotnej mikroštruktúry, aby sa práca tímu mohla pravidelne tešiť konzistentným tepelným charakteristikám, presným rozstupom doštičiek a bezkonkurenčnou chemickou degradáciou.

Semicorex SICdoštičkové lodesú nevyhnutným prvkom vysokoteplotného spracovania polovodičov. Vysoko čistotné kremíkové karbidné oblátky majú jedinečné materiálové charakteristiky, dokonalosť inžinierstva a temperament bez mikro kontaminácie, čo z nich robí vysokú úroveň výbežky pre vysokú výkonnú výrobu doštičiek. Semicorex poskytuje spoľahlivosť a inovatívny vysoký výkon na podporu vašich najkratších polovodičových procesov misií.