Podnos na oblátky

Semicorex poskytuje polovodičovú keramiku pre vaše nástroje na polovýrobu OEM a komponenty na manipuláciu s plátkami so zameraním na vrstvy karbidu kremíka v polovodičovom priemysle. Už mnoho rokov sme výrobcom a dodávateľom podnosu na oblátky. Náš zásobník na oblátky má dobrú cenovú výhodu a pokrýva väčšinu európskych a amerických trhov. Tešíme sa, že sa staneme vaším dlhodobým partnerom v Číne.

Odoslať dopyt

Popis produktu

Nielen pre fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, Semicorex dodáva ultračistý keramický nosič používaný na podporu doštičiek. Jadrom procesu je podnos nosiča plátkov pre MOCVD, ktorý je najskôr vystavený depozičnému prostrediu, takže má vysokú odolnosť voči teplu a korózii. Nosič potiahnutý SiC má tiež vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozvádzania tepla.
Kontaktujte nás ešte dnes a dozviete sa viac o našom podnose na oblátky.

Parametre podnosu na oblátky

Technické vlastnosti
Index	Jednotka	Hodnota
Názov materiálu		Reakčný spekaný karbid kremíka	Beztlakový spekaný karbid kremíka	Rekryštalizovaný karbid kremíka
Zloženie		RBSiC	SSiC	R-SiC
Objemová hustota	g/cm3	3	3,15 ± 0,03	2,60-2,70
Pevnosť v ohybe	MPa (kpsi)	338 (49)	380 (55)	80-90 (20 °C) 90-100 (1400 °C)
Pevnosť v tlaku	MPa (kpsi)	1120(158)	3970(560)	> 600
Tvrdosť	Tlačidlo	2700	2800	/
Prelomenie húževnatosti	MPa m1/2	4.5	4	/
Tepelná vodivosť	W/m.k	95	120	23
Koeficient tepelnej rozťažnosti	10^-60,1/°C	5	4	4.7
Špecifické teplo	Joule/g 0k	0.8	0.67	/
Maximálna teplota vzduchu	℃	1200	1500	1600
Modul pružnosti	Gpa	360	410	240

Rozdiel medzi SSiC a RBSiC:

1. Proces spekania je odlišný. RBSiC má infiltrovať voľný Si do karbidu kremíka pri nízkej teplote, SSiC vzniká prirodzeným zmršťovaním pri 2100 stupňoch.

2. SSiC majú hladší povrch, vyššiu hustotu a vyššiu pevnosť, pre niektoré tesnenia s prísnejšími požiadavkami na povrch budú SSiC lepšie.

3. Rôzny použitý čas pri rôznych PH a teplote, SSiC je dlhší ako RBSiC

Vlastnosti podnosu na oblátky

- CVD povlaky z karbidu kremíka na zlepšenie životnosti.
- Tepelná izolácia vyrobená z vysoko výkonného čisteného tuhého uhlíka.
- Grafitový substrát aj vrstva karbidu kremíka majú vysokú tepelnú vodivosť a vynikajúce vlastnosti rozloženia tepla.
- Vysoko čistý grafit a SiC povlak pre odolnosť proti dierkovaniu a vyššiu životnosť

Dostupné tvary keramiky z karbidu kremíka:

● Keramická tyč / keramický kolík / keramický piest

● Keramická trubica / keramická objímka / keramická manžeta

● Keramický krúžok / keramická podložka / keramická rozpera

● Keramický disk

● Keramická doska / keramický blok

● Keramická guľa

● Keramický piest

● Keramická tryska

● Keramický téglik

● Ďalšie zákazkové keramické diely