Ako profesionálny výrobca by sme vám radi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Komponenty potiahnuté SiC s vysokou čistotou sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od grafitového spotrebného materiálu pre horúce zóny pestovania kryštálov (ohrievače, susceptory téglikov, izolácie) až po vysoko presné grafitové komponenty pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako sú grafitové susceptory potiahnuté karbidom kremíka pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Koncový efektor →
Koncový efektor je ruka robota, ktorá pohybuje polovodičovými plátkami medzi polohami v zariadení na spracovanie plátkov a nosičmi.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex Silicon Pedestal Boat je 9N nosič plátkov s ultra vysokou čistotou navrhnutý pre presnú a stabilnú podporu plátkov pri vysokoteplotnej oxidácii, difúzii a procesoch LPCVD. Vyberte si Semicorex pre bezkonkurenčnú čistotu materiálu, presné obrábanie a overenú spoľahlivosť*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Injector je rúrkový komponent s mimoriadne vysokou čistotou navrhnutý na presné a bezkontaminačné dodávanie plynu v procesoch nanášania polysilikónu LPCVD. Vyberte si Semicorex pre špičkovú čistotu, presné obrábanie a overenú spoľahlivosť.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Wafer Boat je vysoko čistý nosič určený pre polovodičové vysokoteplotné pece, podporujúci doštičky počas oxidačných a redukčných procesov pri 1200–1250 °C. Semicorex poskytuje špičkové produkty, ultra čistý výkon a spoľahlivé výsledky, ktoré priamo zvyšujú výťažnosť zariadenia.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex Silicon Shield Ring je vysoko čistý kremíkový komponent navrhnutý pre pokročilé systémy plazmového leptania, ktorý slúži ako ochranný štít aj ako pomocná elektróda. Semicorex zaisťuje ultra čistý výkon, stabilitu procesu a vynikajúce výsledky leptania s precízne navrhnutými polovodičovými komponentmi.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Ceramic Paddle je vysoko čistý konzolový komponent navrhnutý pre polovodičové vysokoteplotné pece, primárne používaný v oxidačných a difúznych procesoch. Výber Semicorex znamená získanie prístupu k pokročilým keramickým riešeniam, ktoré zaisťujú výnimočnú stabilitu, čistotu a odolnosť pre kritické aplikácie pri manipulácii s plátkami.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC potiahnuté diely Halfmoon Parts sú precízne skonštruované komponenty navrhnuté ako základné prvky epitaxného zariadenia, kde sa dve časti v tvare polmesiaca kombinujú a vytvárajú kompletnú zostavu jadra. Výber Semicorex znamená zabezpečenie spoľahlivých, vysoko čistých a odolných riešení, ktoré zaisťujú stabilnú podporu plátku a efektívne vedenie tepla pre pokročilú výrobu polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopyt