Ako profesionálny výrobca by sme vám radi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.
Komponenty potiahnuté SiC s vysokou čistotou sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od grafitového spotrebného materiálu pre horúce zóny pestovania kryštálov (ohrievače, susceptory téglikov, izolácie) až po vysoko presné grafitové komponenty pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako sú grafitové susceptory potiahnuté karbidom kremíka pre epitaxiu alebo MOCVD.
Výhody pre polovodičové procesy
Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.
Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.
Koncový efektor →
Koncový efektor je ruka robota, ktorá pohybuje polovodičovými plátkami medzi polohami v zariadení na spracovanie plátkov a nosičmi.
Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.
Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.
Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.
Semicorex SiC Heating Filament je grafitový ohrievač potiahnutý karbidom kremíka určený na ohrev plátkov v pokročilej výrobe polovodičov. Výber Semicorex znamená výber dôveryhodného partnera, ktorý dodáva vysoko čisté materiály, presné prispôsobenie a dlhotrvajúci výkon pre najnáročnejšie tepelné procesy.*
Čítaj viacOdoslať dopytSkľučovadlá z karbidu kremíka Semicorex sú špeciálne navrhnuté pre fotolitografické zariadenia a majú viacero výhod, ako je vysoká presnosť, ultra nízka hmotnosť, vysoká tuhosť, nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu.
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Furnace Tubes sú vysoko čisté trubice z karbidu kremíka vyrobené pokročilou technológiou 3D tlače, určené pre vysokoteplotné fotovoltaické procesy. Semicorex dodáva špičkové riešenia SiC s vynikajúcou pevnosťou, stabilitou a spoľahlivosťou, ktorej dôveruje solárny priemysel na celom svete.*
Čítaj viacOdoslať dopytLopatky Semicorex SiC sú vysoko čisté konzolové rameno z karbidu kremíka určené na prepravu plátkov vo vysokoteplotných oxidačných a difúznych peciach nad 1000 ℃. Výber Semicorex znamená zabezpečenie výnimočnej kvality materiálu, precízneho inžinierstva a dlhodobej spoľahlivosti, ktorej dôverujú poprední výrobcovia polovodičov.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemicorex SiC Focus Ring je vysoko čistý krúžok z karbidu kremíka navrhnutý tak, aby optimalizoval distribúciu plazmy a jednotnosť procesu doštičiek pri výrobe polovodičov. Výber Semicorex znamená zabezpečenie konzistentnej kvality, pokročilého materiálového inžinierstva a spoľahlivého výkonu, ktorému dôverujú poprední výrobcovia polovodičov na celom svete.*
Čítaj viacOdoslať dopytSemiCorex Wafer Edge Grinding Chuck je keramický disk vyrobený z vysokokvalitného bieleho hlinitého, navrhnutý pre brúsenie okrajov do oblátky vo výrobe polovodičov. Výber SemiCorex zaisťuje vynikajúcu kvalitu materiálu, presné inžinierstvo a spoľahlivý výkon, ktorý podporuje najnáročnejšie prostredie spracovania doštičiek.*
Čítaj viacOdoslať dopyt