Čína Polovodičové komponenty Výrobcovia, dodávatelia, továreň

Ako profesionálny výrobca by sme vám radi poskytli polovodičové komponenty. Semicorex je váš partner pre zlepšenie v spracovaní polovodičov. Naše povlaky z karbidu kremíka sú husté, odolné voči vysokej teplote a chemikáliám, ktoré sa často používajú v celom cykle výroby polovodičov, vrátane spracovania polovodičových doštičiek a doštičiek a výroby polovodičov.

Komponenty potiahnuté SiC s vysokou čistotou sú rozhodujúce pre procesy v polovodičoch. Naša ponuka siaha od grafitového spotrebného materiálu pre horúce zóny pestovania kryštálov (ohrievače, susceptory téglikov, izolácie) až po vysoko presné grafitové komponenty pre zariadenia na spracovanie plátkov, ako sú grafitové susceptory potiahnuté karbidom kremíka pre epitaxiu alebo MOCVD.

Výhody pre polovodičové procesy

Fázy nanášania tenkých vrstiev, ako je epitaxia alebo MOCVD, alebo spracovanie doštičiek, ako je leptanie alebo iónový implantát, musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie. Semicorex dodáva grafitovú konštrukciu potiahnutú vysoko čistým karbidom kremíka (SiC), ktorý poskytuje vynikajúcu tepelnú odolnosť a trvácnu chemickú odolnosť, rovnomernú tepelnú rovnomernosť pre konzistentnú hrúbku a odolnosť epi vrstvy.

Veká komôr →
Veká komôr používané pri pestovaní kryštálov a spracovaní doštičiek musia vydržať vysoké teploty a drsné chemické čistenie.

Koncový efektor →
Koncový efektor je ruka robota, ktorá pohybuje polovodičovými plátkami medzi polohami v zariadení na spracovanie plátkov a nosičmi.

Vstupné krúžky →
Vstupný krúžok plynu potiahnutý SiC zariadením MOCVD Rast zlúčeniny má vysokú tepelnú a koróznu odolnosť, ktorá má veľkú stabilitu v extrémnom prostredí.

Krúžok zaostrenia →
Semicorex dodáva zaostrovací krúžok potiahnutý karbidom kremíka je skutočne stabilný pre RTA, RTP alebo drsné chemické čistenie.

Oblátka Chuck →
Ultra ploché keramické vákuové doštičkové skľučovadlá Semicorex sú potiahnuté SiC s vysokou čistotou, ktoré sa používajú v procese manipulácie s plátkami.