Jednokryštálové kremíkové elektródy

Jednokryštálové kremíkové elektródysú zvyčajne inštalované v hornej časti leptacej komory, slúžiace ako horná elektróda. Povrch monokryštálových kremíkových elektród má rovnomerne rozmiestnené mikrootvory, ktoré môžu rovnomerne dodávať leptací plyn do reakčnej komory. Počas procesu leptania spolupracujú so spodnou elektródou na vytváraní rovnomerného elektrického poľa, čo prispieva k poskytovaniu ideálnych prevádzkových podmienok pre presné leptanie.

Starostlivý výber materiálu

Semicorex si vyberá prémiový monokryštalický kremík z MCZ na výrobu monokryštalických kremíkových elektród, ktoré ponúkajú špičkový výkon a kvalitu produktu.

1. Ultra vysoká čistota

Monokryštálové kremíkové elektródy Semicorex sa vyznačujú ultra vysokou čistotou nad 99,9999999 %, čo znamená, že obsah vnútorných kovových nečistôt je extrémne nízky.

2. Výnimočná rovnomernosť odporu

Na rozdiel od bežného monokryštalického kremíka CZ, monokryštalický kremík pestovaný na MCZ, ktorý používa Semicorex, dosahuje jednotný odpor pod 5 %. Má nízke rozlíšenie. je riadená pod 0,02 Ω·cm, stredná rez. je medzi 0,2 a 25 Ω·cm a vysokým rozlíšením. je medzi 70-90 Ω·cm (prispôsobenie je možné na požiadanie).

3. Vynikajúca štruktúra materiálu

Monokryštalový kremík pestovaný metódou MCZ ponúka stabilnejšiu štruktúru a menej defektov, vďaka čomu monokryštálové kremíkové elektródy Semicorex poskytujú pozoruhodnú odolnosť proti korózii plazmy a odolávajú drsným prevádzkovým podmienkam leptania.

---

Vysoká štandardná presnosť spracovania

Semicorexmonokryštálový kremíkelektródy sa vyrábajú prostredníctvom kompletného výrobného procesu od kremíkového ingotu až po hotový výrobok, vrátane krájania, povrchového brúsenia, vŕtania otvorov, mokrého leptania a povrchového leštenia. Semicorex podporuje prísnu kontrolu presnosti v každom kroku, aby sa zabezpečilo, že priemer, hrúbka, rovinnosť povrchu, rozstup otvorov a apertúra elektród sú udržiavané v ideálnych toleranciách.

1. Spracovanie mikrodiery

Mikrootvory na monokryštálových kremíkových elektródach sa vyznačujú rovnomerným rozostupom a konzistentnými priemermi (v rozmedzí od 0,2 do 0,8 mm) s hladkými vnútornými stenami bez otrepov. To účinne zaručuje rovnomerný a stabilný prísun leptacieho plynu, čím sa zaisťuje rovnomernosť a presnosť leptania plátku.

2. Presnosť spracovania

Presnosť spracovania monokryštálových kremíkových elektród Semicorex je kontrolovaná v rozmedzí 0,3 mm a ich presnosť leštenia môže byť prísne kontrolovaná pod 0,1 µm a jemné brúsenie je menšie ako 1,6 µm.